激光与光电子学进展, 2013, 50 (4): 041203, 网络出版: 2013-03-22
一种基于偏振光干涉的原子力显微镜测头的研究
Gauging Head of Atomic Force Microscope Based on Interference of Polarized Light
基本信息
| DOI: | 10.3788/lop50.041203 |
| 中图分类号: | TB921 |
| 栏目: | 仪器，测量与计量 |
| 项目基金: | -- |
| 收稿日期: | 2012-11-21 |
| 修改稿日期: | 2013-01-10 |
| 网络出版日期: | 2013-03-22 |
| 通讯作者: | 陈成 (chencheng@nim.ac.cn) |
| 备注: | -- |
陈成, 高思田, 卢荣胜, 李伟. 一种基于偏振光干涉的原子力显微镜测头的研究[J]. 激光与光电子学进展, 2013, 50(4): 041203. Chen Cheng, Gao Sitian, Lu Rongsheng, Li Wei. Gauging Head of Atomic Force Microscope Based on Interference of Polarized Light[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2013, 50(4): 041203.
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