一种基于偏振光干涉的原子力显微镜测头的研究

陈成; 高思田; 卢荣胜; 李伟

doi:doi:10.3788/lop50.041203

激光与光电子学进展, 2013, 50 (4): 041203, 网络出版: 2013-03-22

一种基于偏振光干涉的原子力显微镜测头的研究

Gauging Head of Atomic Force Microscope Based on Interference of Polarized Light

陈成 ^1,2,*高思田 ²卢荣胜 ¹李伟 ²

作者单位

¹ 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院, 安徽合肥 230009

² 中国计量科学研究院纳米新材料计量研究所, 北京 100013

图 & 表

陈成, 高思田, 卢荣胜, 李伟. 一种基于偏振光干涉的原子力显微镜测头的研究[J]. 激光与光电子学进展, 2013, 50(4): 041203. Chen Cheng, Gao Sitian, Lu Rongsheng, Li Wei. Gauging Head of Atomic Force Microscope Based on Interference of Polarized Light[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2013, 50(4): 041203.