光学 精密工程, 2014, 22 (10): 2645, 网络出版: 2014-11-06
热处理对离子束溅射Ta2O5薄膜特性的影响
Effects of annealing on properties of Ta2O5 thin films deposited by ion beam sputtering
离子束溅射 Ta2O5薄膜 退火温度 光学常数 薄膜折射率 Ion Beam Sputtering (IBS) Ta2O5 film annealing temperature optical constant thin film refractivity
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