激光与光电子学进展, 2018, 55 (6): 061203, 网络出版: 2018-09-11
多点实时光刻机光源照度均匀度检测系统设计 
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Design of Multi-Point Real-Time Lithography Light Source Uniformity Detection System
基本信息
| DOI: | 10.3788/LOP55.061203 |
| 中图分类号: | TH741 |
| 栏目: | 仪器，测量与计量 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金、重庆市重点产业共性关键技术创新专项项目（2015zdcy-ztzx70006）、 |
| 收稿日期: | 2017-11-16 |
| 修改稿日期: | 2017-12-11 |
| 网络出版日期: | 2018-09-11 |
| 通讯作者: | 杨若夫 ( yangruofu@cigit.ac.cn) |
| 备注: | -- |
赵可为, 谭艾英, 尹韶云, 蔡文涛, 杨若夫, 陈建军, 佟首峰. 多点实时光刻机光源照度均匀度检测系统设计[J]. 激光与光电子学进展, 2018, 55(6): 061203. Kewei Zhao, Aiying Tan, Shaoyun Yin, Wentao Cai, Ruofu Yang, Jianjun Chen, Shoufeng Tong. Design of Multi-Point Real-Time Lithography Light Source Uniformity Detection System[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2018, 55(6): 061203.
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