激光与光电子学进展, 2018, 55 (6): 061203, 网络出版: 2018-09-11  

多点实时光刻机光源照度均匀度检测系统设计 下载: 1153次

Design of Multi-Point Real-Time Lithography Light Source Uniformity Detection System
作者单位
1 长春理工大学光电测控与光信息传输技术教育部重点实验室, 吉林 长春 130022
2 中国科学院重庆绿色智能技术研究院集成光电中心, 重庆 400714
补充材料

赵可为, 谭艾英, 尹韶云, 蔡文涛, 杨若夫, 陈建军, 佟首峰. 多点实时光刻机光源照度均匀度检测系统设计[J]. 激光与光电子学进展, 2018, 55(6): 061203. Kewei Zhao, Aiying Tan, Shaoyun Yin, Wentao Cai, Ruofu Yang, Jianjun Chen, Shoufeng Tong. Design of Multi-Point Real-Time Lithography Light Source Uniformity Detection System[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2018, 55(6): 061203.

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