多点实时光刻机光源照度均匀度检测系统设计 
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Design of Multi-Point Real-Time Lithography Light Source Uniformity Detection System
1 长春理工大学光电测控与光信息传输技术教育部重点实验室, 吉林 长春 130022
2 中国科学院重庆绿色智能技术研究院集成光电中心, 重庆 400714
图 & 表
图 1. 照度均匀性检测系统组成示意图
Fig. 1. System structure of the illuminance uniformity detection equipment
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图 2. 照度均匀性检测系统实物图
Fig. 2. Picture of illuminance uniformity detection equipment
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图 3. 改进型电流-电压放大电路
Fig. 3. Improved current-voltage amplifying circuit
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图 4. 探测器单元放置在照面的位置
Fig. 4. Positions of the detector units placed
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图 5. 曝光机照度均匀度检测实验图
Fig. 5. Picture of exposure machine illumination uniformity test
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图 6. 探测器单元的光电特性标定曲线
Fig. 6. Photoelectric characteristic calibration curve of detector unit
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图 7. 修正后的探测器单元的光电特性标定曲线
Fig. 7. Calibration curves of photoelectric characteristic of the detector unit after correction
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表 1中心照面光功率为9.6 mW/cm2的探测器单元输出电压的重复性
Table1. Repeatability of output voltage of detector units with the luminous power of 9.6 mW/cm2
| No. | Output voltage /mV |
|---|
| Group 1 | Group 2 | Group 3 | Group 4 | Group 5 |
|---|
| 1 | 735 | 736 | 731 | 738 | 738 | | 2 | 746 | 749 | 749 | 750 | 747 | | 3 | 749 | 740 | 746 | 741 | 745 | | 4 | 796 | 799 | 792 | 792 | 794 | | 5 | 782 | 781 | 788 | 783 | 785 |
|
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表 2中心照面光功率为12.5 mW/cm2的探测器单元输出电压的重复性
Table2. Repeatability of output voltage of detector units with the luminous power of 12.5 mW/cm2
| No. | Output voltage /mV |
|---|
| Group 1 | Group 2 | Group 3 | Group 4 | Group 5 |
|---|
| 1 | 895 | 893 | 893 | 896 | 891 | | 2 | 917 | 918 | 919 | 916 | 918 | | 3 | 915 | 919 | 919 | 919 | 912 | | 4 | 970 | 968 | 974 | 973 | 971 | | 5 | 953 | 951 | 956 | 954 | 953 |
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表 3中心照面光功率为15.5 mW/cm2的探测器单元输出电压的重复性
Table3. Repeatability of output voltage of detector units with the luminous power of 15.5 mW/cm2
| No. | Output voltage /mV |
|---|
| Group 1 | Group 2 | Group 3 | Group 4 | Group 5 |
|---|
| 1 | 1075 | 1073 | 1073 | 1076 | 1071 | | 2 | 1086 | 1088 | 1089 | 1086 | 1088 | | 3 | 1085 | 1089 | 1089 | 1089 | 1082 | | 4 | 1153 | 1158 | 1154 | 1153 | 1151 | | 5 | 1133 | 1131 | 1136 | 1134 | 1133 |
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表 4检测系统的准确度
Table4. Accuracy of the detection system
| Group1 | Group1 | Group1 | Group1 | Group1 |
|---|
| 97.0% | 97.0% | 96.9% | 97.0% | 97.1% |
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赵可为, 谭艾英, 尹韶云, 蔡文涛, 杨若夫, 陈建军, 佟首峰. 多点实时光刻机光源照度均匀度检测系统设计[J]. 激光与光电子学进展, 2018, 55(6): 061203. Kewei Zhao, Aiying Tan, Shaoyun Yin, Wentao Cai, Ruofu Yang, Jianjun Chen, Shoufeng Tong. Design of Multi-Point Real-Time Lithography Light Source Uniformity Detection System[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2018, 55(6): 061203.
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