半导体光电, 2017, 38 (1): 61, 网络出版: 2017-03-29
ICP刻蚀气压对碲镉汞电学性能的影响
Effects of ICP Etching Pressure on Electrical Properties of HgCdTe
ICP干法刻蚀 碲镉汞光导材料 刻蚀气压 电学特性 ICP dry etch MCT photo-conductive material etching pressure electric characteristics
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