中国激光, 2003, 30 (1): 22, 网络出版: 2006-06-27
亚稳态氖原子光刻的实验研究
Experimental Study on Metastable-neon Atom Lithography
引用该论文
霍芸生, 蔡惟泉, 曾庆林, 鄢和明, 王育竹. 亚稳态氖原子光刻的实验研究[J]. 中国激光, 2003, 30(1): 22.
霍芸生, 蔡惟泉, 曾庆林, 鄢和明, 王育竹. Experimental Study on Metastable-neon Atom Lithography[J]. Chinese Journal of Lasers, 2003, 30(1): 22.
霍芸生, 蔡惟泉, 曾庆林, 鄢和明, 王育竹. 亚稳态氖原子光刻的实验研究[J]. 中国激光, 2003, 30(1): 22. 霍芸生, 蔡惟泉, 曾庆林, 鄢和明, 王育竹. Experimental Study on Metastable-neon Atom Lithography[J]. Chinese Journal of Lasers, 2003, 30(1): 22.