中国激光, 2003, 30 (1): 22, 网络出版: 2006-06-27
亚稳态氖原子光刻的实验研究
Experimental Study on Metastable-neon Atom Lithography
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | TN 305.7 |
栏目: | 实验技术与元件 |
项目基金: | 国家自然科学基金(No.19774060)资助项目。 |
收稿日期: | 2001-10-29 |
修改稿日期: | 2001-12-11 |
网络出版日期: | 2006-06-27 |
通讯作者: | |
备注: | -- |
霍芸生, 蔡惟泉, 曾庆林, 鄢和明, 王育竹. 亚稳态氖原子光刻的实验研究[J]. 中国激光, 2003, 30(1): 22. 霍芸生, 蔡惟泉, 曾庆林, 鄢和明, 王育竹. Experimental Study on Metastable-neon Atom Lithography[J]. Chinese Journal of Lasers, 2003, 30(1): 22.