光学学报, 2011, 31 (8): 0805001, 网络出版: 2011-07-29
基于光闸叠栅条纹的纳米检焦方法
Moiré Fringe-Based Focusing-Test Scheme for Optical Projection Lithography
光学测量 焦面检测 叠栅条纹 光弹调制 横向剪切分束器 optical measurement focusing test Moiré fringe photoelastic modulation Savart plate
知识挖掘
相关论文
2024年
2023年
2023年
2023年
2023年
2023年
2023年
2023年
2015年
2010年
本文相似领域研究进展,
知识服务
本文主要研究领域论文发表情况:
692篇
37篇
23篇
5篇
4篇
3篇
本文研究领域论文发表情况(统计图):
严伟, 李艳丽, 陈铭勇, 王建. 基于光闸叠栅条纹的纳米检焦方法[J]. 光学学报, 2011, 31(8): 0805001. Yan Wei, Li Yanli, Chen Mingyong, Wang Jian. Moiré Fringe-Based Focusing-Test Scheme for Optical Projection Lithography[J]. Acta Optica Sinica, 2011, 31(8): 0805001.