光子学报, 2018, 47 (5): 0523001, 网络出版: 2018-09-07   

用刻蚀坑方法抑制平面型InGaAs/InP盖革模式APD的边缘击穿

Using Etch Well to Suppress Edge Breakdown of Planar-type InGaAs/InP Geiger Mode Avalanche Photodiodes
作者单位
1 中国科学院半导体研究所 集成光电子学国家重点实验室, 北京 100083
2 中国科学院大学 电子电气与通信工程学院, 北京 100049
3 中国电子科技集团公司第四十四研究所 化合物半导体光电子事业部, 重庆 400060
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侯丽丽, 韩勤, 李彬, 王帅, 叶焓. 用刻蚀坑方法抑制平面型InGaAs/InP盖革模式APD的边缘击穿[J]. 光子学报, 2018, 47(5): 0523001. HOU Li-li, HAN Qin, LI Bin, WANG Shuai, YE Han. Using Etch Well to Suppress Edge Breakdown of Planar-type InGaAs/InP Geiger Mode Avalanche Photodiodes[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2018, 47(5): 0523001.

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