红外与毫米波学报, 2010, 29 (4): 245, 网络出版: 2010-08-31
DC磁控溅射制备的TiNx薄膜组分及性能分析
COMPOSITION AND PROPERTIES OF TiNx THIN FILMS PREPARED BY DC MAGNETRON SPUTTERING
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | O469 |
栏目: | |
项目基金: | 国家自然科学基金资助(No.50730007)、同济大学波与材料微结构重点实验室开放基金资助(No.200602) |
收稿日期: | 2009-05-07 |
修改稿日期: | 2010-01-31 |
网络出版日期: | 2010-08-31 |
通讯作者: | 赖珍荃 (zqlai@ncu.edu.cn) |
备注: | -- |
李海翼, 赖珍荃, 朱秀榕, 胡敏. DC磁控溅射制备的TiNx薄膜组分及性能分析[J]. 红外与毫米波学报, 2010, 29(4): 245. LI Hai-Yi, LAI Zhen-Quan*, ZHU Xiu-Rong, HU Min. COMPOSITION AND PROPERTIES OF TiNx THIN FILMS PREPARED BY DC MAGNETRON SPUTTERING[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2010, 29(4): 245.