DC磁控溅射制备的TiNx薄膜组分及性能分析 | 红外与毫米波学报 -- 中国光学期刊网

红外与毫米波学报, 2010, 29 (4): 245, 网络出版: 2010-08-31

DC磁控溅射制备的TiNx薄膜组分及性能分析

COMPOSITION AND PROPERTIES OF TiNx THIN FILMS PREPARED BY DC MAGNETRON SPUTTERING

李海翼赖珍荃 ^*朱秀榕胡敏

作者单位

南昌大学物理系，江西南昌 330031

氮化钛薄膜磁控溅射反射率电阻率 TiN thin films magnetron sputtering reflectance resistivity

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