中国激光, 2013, 40 (1): 0116001, 网络出版: 2013-01-05   

同轴两反光学系统杂散光分析及内遮光罩优化设计

Stray Light Analysis of a Coaxial Two Reflect Mirror System and Optimized Design of Inner Photomask
作者单位
1 中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200083
2 中国科学院大学, 北京 100049
3 国家卫星气象中心, 北京 100081
引用该论文

林剑春, 孙丽崴, 陈博洋, 王威, 范冰清, 陈凡胜. 同轴两反光学系统杂散光分析及内遮光罩优化设计[J]. 中国激光, 2013, 40(1): 0116001.

Lin Jianchun, Sun Liwei, Chen Boyang, Wang Wei, Fan Bingqing, Chen Fansheng. Stray Light Analysis of a Coaxial Two Reflect Mirror System and Optimized Design of Inner Photomask[J]. Chinese Journal of Lasers, 2013, 40(1): 0116001.

引用列表
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林剑春, 孙丽崴, 陈博洋, 王威, 范冰清, 陈凡胜. 同轴两反光学系统杂散光分析及内遮光罩优化设计[J]. 中国激光, 2013, 40(1): 0116001. Lin Jianchun, Sun Liwei, Chen Boyang, Wang Wei, Fan Bingqing, Chen Fansheng. Stray Light Analysis of a Coaxial Two Reflect Mirror System and Optimized Design of Inner Photomask[J]. Chinese Journal of Lasers, 2013, 40(1): 0116001.

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