中国激光, 2013, 40 (1): 0116001, 网络出版: 2013-01-05
同轴两反光学系统杂散光分析及内遮光罩优化设计
Stray Light Analysis of a Coaxial Two Reflect Mirror System and Optimized Design of Inner Photomask
成像系统 同轴两反光学系统 杂散光分析 点源透射率 内遮光罩 imaging systems coaxial two reflect mirror system stray light analysis point source transmittance inner photomask
知识挖掘
相关论文
本文相似领域研究进展,
知识服务
本文主要研究领域论文发表情况:
1333篇
1094篇
21篇
9篇
1篇
1篇
本文研究领域论文发表情况(统计图):
林剑春, 孙丽崴, 陈博洋, 王威, 范冰清, 陈凡胜. 同轴两反光学系统杂散光分析及内遮光罩优化设计[J]. 中国激光, 2013, 40(1): 0116001. Lin Jianchun, Sun Liwei, Chen Boyang, Wang Wei, Fan Bingqing, Chen Fansheng. Stray Light Analysis of a Coaxial Two Reflect Mirror System and Optimized Design of Inner Photomask[J]. Chinese Journal of Lasers, 2013, 40(1): 0116001.