同轴两反光学系统杂散光分析及内遮光罩优化设计

林剑春; 孙丽崴; 陈博洋; 王威; 范冰清; 陈凡胜

doi:doi:10.3788/cjl201340.0116001

中国激光, 2013, 40 (1): 0116001, 网络出版: 2013-01-05

同轴两反光学系统杂散光分析及内遮光罩优化设计

Stray Light Analysis of a Coaxial Two Reflect Mirror System and Optimized Design of Inner Photomask

林剑春 ^1,2,*孙丽崴 ¹陈博洋 ³王威 ^1,2范冰清 ¹陈凡胜 ¹

作者单位

¹ 中国科学院上海技术物理研究所，上海 200083

² 中国科学院大学，北京 100049

³ 国家卫星气象中心，北京 100081

图 & 表

林剑春, 孙丽崴, 陈博洋, 王威, 范冰清, 陈凡胜. 同轴两反光学系统杂散光分析及内遮光罩优化设计[J]. 中国激光, 2013, 40(1): 0116001. Lin Jianchun, Sun Liwei, Chen Boyang, Wang Wei, Fan Bingqing, Chen Fansheng. Stray Light Analysis of a Coaxial Two Reflect Mirror System and Optimized Design of Inner Photomask[J]. Chinese Journal of Lasers, 2013, 40(1): 0116001.