光学学报, 2004, 24 (1): 24, 网络出版: 2006-06-12
厚二氧化硅光波导薄膜制备及其特性分析
PECVD Deposition and Characterization of Thick Silica Film for Optical Waveguide
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娄丽芳, 盛钟延, 姚奎鸿, 肖丙刚, 何赛灵. 厚二氧化硅光波导薄膜制备及其特性分析[J]. 光学学报, 2004, 24(1): 24. 娄丽芳, 盛钟延, 姚奎鸿, 肖丙刚, 何赛灵. PECVD Deposition and Characterization of Thick Silica Film for Optical Waveguide[J]. Acta Optica Sinica, 2004, 24(1): 24.