光子学报, 2018, 47 (9): 0916005, 网络出版: 2018-09-15
磁控溅射结合脉冲激光制备钛掺杂硅薄膜的研究
Study of Titanium-doped Silicon Films Prepared by Magnetron Sputtering and Nanosecond Pulsed Laser
激光物理 脉冲激光 磁控溅射 硅 超掺杂 深能级杂质 Laser physics Pulsed lasers Vacuum magnetron Silicon Hyper doping Deep level impurity
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