红外与激光工程, 2018, 47 (6): 0621002, 网络出版: 2018-09-08
热处理对双离子束溅射SiO2薄膜力学及热力学特性的影响
Influence of thermal annealing on mechanical and thermoelastic characteristics of SiO2 films produced by DIBS
双离子束溅射 SiO2薄膜 退火 力学及热力学特性 dual ion beam sputtering (DIBS) SiO2 film annealing mechanical and thermoelastic characteristics
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