光电工程, 2004, 31 (2): 1, 网络出版: 2007-11-14
硅基光子晶体板的光刻和反应离子刻蚀
Lithography and Reactive Ion Etching of Silicon-Based Photon Crystal Slab
引用该论文
张磊, 张晓玉, 张福甲, 姚汉民, 杜春雷, 刘强, 潘莉. 硅基光子晶体板的光刻和反应离子刻蚀[J]. 光电工程, 2004, 31(2): 1.
张磊, 张晓玉, 张福甲, 姚汉民, 杜春雷, 刘强, 潘莉. Lithography and Reactive Ion Etching of Silicon-Based Photon Crystal Slab[J]. Opto-Electronic Engineering, 2004, 31(2): 1.
张磊, 张晓玉, 张福甲, 姚汉民, 杜春雷, 刘强, 潘莉. 硅基光子晶体板的光刻和反应离子刻蚀[J]. 光电工程, 2004, 31(2): 1. 张磊, 张晓玉, 张福甲, 姚汉民, 杜春雷, 刘强, 潘莉. Lithography and Reactive Ion Etching of Silicon-Based Photon Crystal Slab[J]. Opto-Electronic Engineering, 2004, 31(2): 1.