中国激光, 2018, 45 (6): 0604001, 网络出版: 2018-07-05
基于白光干涉频域分析的高精度表面形貌测量 
下载： 991次
High-Resolution Surface Topography Measurement Based on Frequency-Domain Analysis in White Light Interferometry
基本信息
| DOI: | 10.3788/CJL201845.0604001 |
| 中图分类号: | TH741 |
| 栏目: | 测量与计量 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金（61675206,61605212,61604154）、 |
| 收稿日期: | 2017-11-22 |
| 修改稿日期: | 2017-12-18 |
| 网络出版日期: | 2018-07-05 |
| 通讯作者: | 唐燕 (ty0513@163.com) |
| 备注: | -- |
邓钦元, 唐燕, 周毅, 杨勇, 胡松. 基于白光干涉频域分析的高精度表面形貌测量[J]. 中国激光, 2018, 45(6): 0604001. Qinyuan Deng, Yan Tang, Yi Zhou, Yong Yang, Song Hu. High-Resolution Surface Topography Measurement Based on Frequency-Domain Analysis in White Light Interferometry[J]. Chinese Journal of Lasers, 2018, 45(6): 0604001.
PDF全文
