基于白光干涉频域分析的高精度表面形貌测量

邓钦元; 唐燕; 周毅; 杨勇; 胡松

doi:doi:10.3788/CJL201845.0604001

中国激光, 2018, 45 (6): 0604001, 网络出版: 2018-07-05

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High-Resolution Surface Topography Measurement Based on Frequency-Domain Analysis in White Light Interferometry

邓钦元 ^1,2唐燕 ^{1,* *}周毅 ^1,2杨勇 ¹胡松 ¹

作者单位

¹ 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室, 四川成都 610209

² 中国科学院大学, 北京 100049

补充材料

邓钦元, 唐燕, 周毅, 杨勇, 胡松. 基于白光干涉频域分析的高精度表面形貌测量[J]. 中国激光, 2018, 45(6): 0604001. Qinyuan Deng, Yan Tang, Yi Zhou, Yong Yang, Song Hu. High-Resolution Surface Topography Measurement Based on Frequency-Domain Analysis in White Light Interferometry[J]. Chinese Journal of Lasers, 2018, 45(6): 0604001.