1 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室, 成都 610209
2 四川大学物理系, 成都 610041
分析研究了白光相移干涉应用于表面形貌测量时表面形貌与干涉图像之间的关系, 比较了两种不同光谱分布的光束的白光相移干涉特性。 依据白光相移干涉中与干涉光强有关的一些特定参量与表面形貌之间的一一对应关系, 提出了一种不直接测量相位、 避开相位测量不确定性的新方法。 所提方法扩大了可测深度范围, 可用于测量面形较陡的连续表面或不连续深结构表面。
相移干涉 表面形貌 测量
中国科学院光电技术研究所, 微细加工光学技术国家重点实验室, 成都 610209
衍射光学元件(DOE)表面形貌的测量需要解决因表面结构深度较大和表面不连续给测量带来的困难。 本文将双波长测量法的思想推广应用到不连续深结构表面的测量, 并提出了一种新型数据处理方法, 有效地克服了这些困难。 理论分析和测量结果表明, 基于这些方法的三维表面形貌测量系统纵向分辨率为0.5 nm, 横向分辨率约为0.5 μm(NA=0.4), 在整个纵向测量范围内重复测量精度优于1.3 nm, 满足了衍射光学元件表面形貌测量的需要。
衍射光学元件 三维表面形貌 干涉显微镜 相移干涉
1 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 成都 610209
2 四川联合大学物理系 成都 610041
分析了微细台阶面表面形貌测量可能会出现平滑或失真现象的根源，提出一种基于测量数据分析和数据处理的解决方法。此方法已成功地应用于自行研制的衍射光学元件三维表面形貌测量系统中。
微结构 表面形貌 数据处理 相移干涉
1 四川大学信息光学研究所, 成都 610064
2 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室, 成都 610209
讨论了深蚀刻连续浮雕位相微光学元件的衍射特性,给出了槽形与衍射效率关系的初步研究结果,对实际制作具有指导意义。
深刻蚀 连续位相 衍射光学 微光学 元件
1 四川大学信息光学研究所, 成都 610064
2 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室, 成都 610209
从标量衍射理论出发,首先从理论上计算出多台阶二元光学元件发生深度误差时衍射效率的解析式;然后以4台阶和8台阶闪耀光栅为例,对二元光学元件套刻制作中的主要误差及其这些误差之间的相互影响进行了系统的分析和计算机模拟研究,模拟结果给实际制作提供了重要理论指导和实验参数。
二元光学元件 误差分析 计算机模拟 深度误差 对位误关 闪耀光栅
