1 中国科学院上海光机所, 上海 201800
2 机械工业部上海材料研究所, 上海 200437
提出了一种新的激光光化学三元反应体系,用于制备硫化铅薄膜。应用吸收光谱、扫描电镜和Ｘ射线光电子能谱等测试手段研究了膜的性质和组成,指出了该方法淀积硫化物薄膜的可行性。
激光化学气相淀积 等离子体羽 淀积膜 消融
1 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
2 上海机械工业部材料研究所, 上海 200437
报道了准分子XeCl(308 nm)紫外激光刻蚀C60膜的实验研究及对刻蚀薄膜的形貌分析。基于形貌分析的结果提出其刻蚀机理。
富勒烯 薄膜 激光刻蚀
