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激光制造
准分子激光化学反应淀积硫化物薄膜
席明霞 1武四新 1郑隽 1吴正亮 1[ ... ]曹基文 2
作者单位
摘要
1 中国科学院上海光机所, 上海 201800
2 机械工业部上海材料研究所, 上海 200437
提出了一种新的激光光化学三元反应体系,用于制备硫化铅薄膜。应用吸收光谱、扫描电镜和Ｘ射线光电子能谱等测试手段研究了膜的性质和组成,指出了该方法淀积硫化物薄膜的可行性。
激光化学气相淀积 等离子体羽 淀积膜 消融 
PDF全文 Full Text
中国激光
1997, 24(8): 760
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