利用准分子脉冲激光(XeCl,λ=308 nm)对Si,红宝石和钛宝石靶进行消融,从而得到SiO2和红宝石、钛宝石的钠米级粉末。用透射电镜对粉末的物质形态进行分析,并对消融产生的纳米颗粒在其颗粒大小及分布上予以分析统计。
准分子激光 纳米粒子 消融
1 中国科学院上海光机所, 上海 201800
2 机械工业部上海材料研究所, 上海 200437
提出了一种新的激光光化学三元反应体系,用于制备硫化铅薄膜。应用吸收光谱、扫描电镜和Ｘ射线光电子能谱等测试手段研究了膜的性质和组成,指出了该方法淀积硫化物薄膜的可行性。
激光化学气相淀积 等离子体羽 淀积膜 消融
中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800
以XeCl准分子激光消融Al, Cu为例,分析了以准分子激光消融平面材料的动力学过程,从激光导致的材料温度场着手,分析材料从缺陷导致断裂并最终形成纳米材料的全过程。
准分子激光 纳米材料
利用准分子脉冲激光(XeCl，λ＝308 nm)对Cu，Al靶进行消融，从而得到Cu，Al化合物的纳米级粉末。Cu的产物为(CuO)6·Cu2O,Al的产物为AlN。用透射电镜对粉末进行分析，并对消融产生的纳米颗粒在其颗粒大小及分布上予以分析统计。结果表明,(CuO)6·Cu2O粒子的平均直径为11 nm，AlN粒子的平均直径为6 nm左右，基本符合对数正态分布。
准分子激光 纳米粒子 激光消融
