1 泉州师范学院物理系,福建,362000
2 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
综述了激光-扫描探针显微镜(Laser-sPM)纳米尺度加工先进技术及激光纳米结构先进加工技术.
激光 纳米技术 扫描探针显微镜 先进加工技术
中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
着重介绍了当前国外步进扫描投影光刻机的工件台和掩模台的发展状况,并对套刻精度和整机精度进行了分析.
步进扫描投影光刻机 工件台 掩模台 套刻精度
1 泉州师范学院物理系,福建,362000
2 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
自适应变形镜技术在激光加工、激光发射和远距离输运、聚焦系统等方面的应用正日益受到重视,不断发展.它是激光光束质量和聚焦特性自适应控制的关键技术.本文着重论述高功率强激光加工中自适应变形镜技术及其对"飞行光学"聚焦特性控制的新技术.
自适应镜 形变致动器 聚焦特性 飞行光学
中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
研究了在不同输出功率下,输出耦合镜热形变所引起的输出光束Rayleigh长度的变化规律.采用压力变形反射镜对Rayleigh长度变化进行了实时补偿,修正了由于输出耦合镜热变形造成的影响,改善了高功率CO2激光器的聚焦特性.
Rayleigh长度 耦合窗口 压力变形镜 聚焦特性
1 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
2 西北核技术研究所,陕西西安,710024
针对反应堆抽运激光(RPL),介绍了一类具有多折光路、与反应堆有较高耦合效率的谐振腔.在俘获放能介质于腔内均匀分布的情况下,给出了激光器的匹配设计要素和裂变反应能在腔内的沉积,提供了该腔型耦合优化的模拟方法,为较大规模的RPL实验提供了理论依据.
反应堆抽运激光 折叠腔 能量沉积 输出耦合
