高增益探测对 InGaAs焦平面探测器在微光夜视条件下成像有重要意义。设计了一款 InGaAs焦平面用的高增益低噪声 64×64元读出电路。读出电路输入级采用 CTIA模式（电容负反馈放大），通过计算发现输入级运算放大器热噪声是主要噪声源，采用单端替代差分运放将输入级噪声降低 26%。同时，研究积分电容和增益、满阱容量、噪声的关系，将积分电容降低到 1 fF，实现了超高增益和低噪声探测。读出电路采用 0.18 .m工艺设计，像元中心距为 30 .m。经过 PEX（寄生参数提取）参数提取，实际积分电容为 0.94 fF，经过测试芯片整体功耗低至 24.1 mW，电路噪声电子数为 4.37e。

为求解硅片表面微小粒子在任意线偏振平面入射光照射下的散射光光强分布，选择了基于Mie散射的杨氏模型为依据，推导了该模型下散射光强空间分布的计算方法，并给出了0．54μm球形粒子在垂直、倾斜入射下光强空间分布的模拟计算结果，以及入射平面第一象限内散射光强与国外已发表实验结果的比较．

共光路外差干涉仪具有很高的分辨率,但因为安装、调试误差会产生非线性误差,影响系统的测量精度。着重分析了在共光路外差干涉仪中由激光光源的椭圆偏振化和沃拉斯顿棱镜的安装方位角误差同时存在的情况下,引起的频率混叠综合误差的大小及变化规律。结果发现其造成的非线性误差可达2.2 nm,同时还发现两者造成的误差在某些情况下存在一定程度的相互抵消作用。讨论了提高测量系统精度的有效措施, 对正确设计和调试激光外差测试系统、提高测量系统精度具有重要意义。

基于焦移传输理论,推导了"飞行光学"中焦移、相对焦移的表达式,分析了"飞行距离"、瑞利长度和聚焦镜焦距对"飞行光学"中焦移、相对焦移的影响.

对5 kW横流CO2激光器脉冲预电离过程进行理论分析和实验研究.表明了预电离过程中电子密度的重要作用,它能为下一步的主放电提供良好的条件.结果表明理论分析与实验结果相符合.

设计了一种光电混合式电流互感器,它由传感头、光纤传输和光电转换器、信号处理电路和工作电源4部分组成.这种结构具有绝缘性能高、可靠性强、质量小等特点,并对误差情况进行了分析.

综述了激光-扫描探针显微镜(Laser-sPM)纳米尺度加工先进技术及激光纳米结构先进加工技术.

着重介绍了当前国外步进扫描投影光刻机的工件台和掩模台的发展状况,并对套刻精度和整机精度进行了分析.

自适应变形镜技术在激光加工、激光发射和远距离输运、聚焦系统等方面的应用正日益受到重视,不断发展.它是激光光束质量和聚焦特性自适应控制的关键技术.本文着重论述高功率强激光加工中自适应变形镜技术及其对"飞行光学"聚焦特性控制的新技术.

在对高阶模飞行光学聚焦特性进行研究的基础上,提出了应用自适应飞行光学聚焦系统来解决飞行光学聚焦特性的问题,对自适应飞行光学聚焦系统的调节特性进行了数值模拟,结果表明该系统能够实现对长距离飞行光学激光加工过程中焦点位置与焦斑大小的控制.