相同关键词【步进扫描投影光刻机】论文列表 -- 中国光学期刊网

相同关键词【步进扫描投影光刻机】论文列表

期刊

选择下列全部论文 将选定结果：

投影光刻机调焦调平传感技术的研究进展

曾爱军王向朝徐德衍

作者单位

摘要

中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800

阐述了投影光刻机调焦调平传感器的重要作用及其技术进展,详细介绍了国际上典型的调焦调平传感器,并对多种传感技术的光学原理和关键技术进行了分析和比较。

调焦调平传感器步进重复投影光刻机步进扫描投影光刻机逐场调焦调平

PDF全文 Full Text

激光与光电子学进展

2004, 41(7): 24

衍射与光栅

步进扫描投影光刻机工件台和掩模台的进展

下载：903次

刘丹程兆谷高海军黄惠杰 [ ... ]谌巍

作者单位

摘要

中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

着重介绍了当前国外步进扫描投影光刻机的工件台和掩模台的发展状况,并对套刻精度和整机精度进行了分析.

步进扫描投影光刻机工件台掩模台套刻精度

PDF全文 Full Text

激光与光电子学进展

2003, 40(5): 14

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务，点击此处了解我们的隐私策略。如您需继续使用本网站，请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。

您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!

快速查询高级查询

最近搜索：步进扫描投影光刻机

大家在搜：人工智能图像处理光子

热门搜索：机器视觉光通信光纤传感器