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衍射与光栅
步进扫描投影光刻机工件台和掩模台的进展下载：903次
刘丹 程兆谷 高海军 黄惠杰 [ ... ]谌巍 
作者单位
摘要
中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
着重介绍了当前国外步进扫描投影光刻机的工件台和掩模台的发展状况,并对套刻精度和整机精度进行了分析.
步进扫描投影光刻机 工件台 掩模台 套刻精度 
PDF全文 Full Text
激光与光电子学进展
2003, 40(5): 14
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