1 华北光电技术研究所，北京100015
2 空军装备部驻北京地区第七军事代表室，北京100015
锑化铟红外焦平面器件在杜瓦测试中常常会出现信号分层问题，由此影响器件制造的成品率。通过对器件杜瓦测试电平图、管芯电流电压测试结果及衬底掺杂浓度进行研究，找到了导致探测器信号分层的原因。进一步的理论分析表明，锑化铟衬底上局部的高浓度掺杂区域会对器件性能造成影响。基于此研究，在芯片的制备过程中可采取相应的措施，最大限度地避免后道工序中的无效工作，从而提高锑化铟焦平面器件工艺线的流片效率。
锑化铟 红外焦平面探测器 信号分层 InSb IRFPA detector signal layering
中国电子科技集团公司第十一研究所，北京 100015
随着红外焦平面成像制导的应用越来越广泛，人们对探测器组件的体积、快速启动能力等方面的要求也越来越高。针对这个问题，基于探测器的芯片、杜瓦结构和快速制冷器的设计，对探测器快速启动的影响因素进行了分析，得出了对提高红外焦平面探测器快速启动具有帮助意义的结论。
红外焦平面探测器 杜瓦结构设计 快速启动 IRFPA detector Dewar structure design fast cool-down
中国科学院上海技术物理研究所， 上海 200083
320×320中波凝视红外焦平面碲镉汞探测器是红外相机的关键部件。红外焦平面性能参数的测试评价是红外探测器发展中的关键技术之一。针对这一情况进行探测器特性评价，定量化获取其性能参数的精确值显得尤为重要，如探测器的暗电流、响应线性度和非均匀性等。详细叙述了各个性能参数测试的方法，通过处理标准实验条件下得到的实验数据算出探测器各个参数的精确值。
红外探测器 暗电流 响应线性度 响应非均匀性 IRFPA detector dark-current response linearity response non-uniformity
