作者单位
摘要
成都精密光学工程研究中心, 四川 成都 610041
研究了经过CO2激光处理的溶胶-凝胶SiO2薄膜的物理化学性能和抗激光损伤性能, 研究结果表明激光处理后薄膜表面变得更加光滑, 粗糙度从14.08 nm降低到9.76 nm, 下降了30%以上; 薄膜的厚度随着CO2激光处理功率增加有所降低, 经过20 W激光处理后薄膜的厚度下降了17%~28%, 而薄膜的弹性模量和硬度等力学性能获得提升, 弹性模量从1.5 GPa增加到6 GPa, 硬度从40 MPa增加到110 MPa; 傅里叶变换红外光谱测试结果表明激光处理后薄膜的傅里叶光谱峰值从1 125 cm-1 移动至1 120 cm-1, 薄膜中的硅原子和氧原子的平均桥键角变小, 原因为CO2激光处理时会使局部温度升高, 会加速Si—OH键脱水缩合, 孔隙率降低, 吸收下降。 采用紫外纳秒激光对薄膜进行损伤测试, 结果显示经过12 W CO2激光处理后的薄膜与未经过CO2激光处理的薄膜相比损伤面积更小, 而损伤阈值从4.8 J·cm-2上升到7 J·cm-2, 提升了46%; 经过16 W和20 W CO2激光处理的薄膜紫外纳秒激光损伤阈值没有明显变化, 原因为较高功率CO2激光处理导致薄膜表面发生烧蚀沉积, 沉积物会影响紫外纳秒损伤阈值无法有效改善薄膜的激光损伤性能。 研究结果表明CO2激光处理技术可以有效改善溶胶-凝胶SiO2薄膜的弹性模量、 硬度等力学性能和抗激光损伤性能, CO2激光的功率对薄膜性能影响较大, CO2激光处理是一种有效的提升溶胶-凝胶SiO2薄膜紫外纳秒激光损伤特性的技术手段。
CO2激光 溶胶-凝胶薄膜 激光处理 光谱特性 紫外纳秒激光损伤 CO2 laser Sol-gel film Laser conditioning Spectral characteristics Laser induced damage 
光谱学与光谱分析
2023, 43(6): 1752
Kun Shuai 1,2,3Yuanan Zhao 1,2,3,*Xiaofeng Liu 1,2,3,*Xiangkun Lin 1,2,3[ ... ]Jianda Shao 1,3,9
Author Affiliations
Abstract
1 Laboratory of Thin Film Optics, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences (CAS), Shanghai, China
2 Center of Materials Science and Optoelectronics Engineering, University of Chinese Academy of Sciences, Beijing, China
3 Key Laboratory of Materials for High Power Laser, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China
4 School of Materials Science and Engineering, Wuhan University of Technology, Wuhan, China
5 National Synchrotron Radiation Laboratory, University of Science and Technology of China, Hefei, China
6 School of Optical-Electrical and Computer Engineering, University of Shanghai for Science and Technology, Shanghai, China
7 National Laboratory on High Power Laser and Physics, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, CAS, Shanghai, China
8 Research Center of Laser Fusion, China Academy of Engineering Physics, Mianyang, China
9 Hangzhou Institute for Advanced Study, University of Chinese Academy of Sciences, Hangzhou, China
Multilayer dielectric gratings (MLDGs) are crucial for pulse compression in picosecond–petawatt laser systems. Bulged nodular defects, embedded in coating stacks during multilayer deposition, influence the lithographic process and performance of the final MLDG products. In this study, the integration of nanosecond laser conditioning (NLC) into different manufacturing stages of MLDGs was proposed for the first time on multilayer dielectric films (MLDFs) and final grating products to improve laser-induced damage performance. The results suggest that the remaining nodular ejection pits introduced by the two protocols exhibit a high nanosecond laser damage resistance, which remains stable when the irradiated laser fluence is more than twice the nanosecond-laser-induced damage threshold (nanosecond-LIDT) of the unconditioned MLDGs. Furthermore, the picosecond-LIDT of the nodular ejection pit conditioned on the MLDFs was approximately 40% higher than that of the nodular defects, and the loss of the grating structure surrounding the nodular defects was avoided. Therefore, NLC is an effective strategy for improving the laser damage resistance of MLDGs.
laser-induced damage threshold multilayer dielectric gratings nanosecond laser conditioning nodular defects picosecond–petawatt laser systems 
High Power Laser Science and Engineering
2023, 11(6): 06000e89
张晶晶 1,2,3杨峰 1,2,*寇洋 1,2王灼寒 1,2[ ... ]彭钦军 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院 理化技术研究所 固体激光重点实验室,北京 100190
2 中国科学院 理化技术研究所 功能晶体与激光重点实验室,北京 100190
3 中国科学院大学,北京 100149
光学元件中的杂质和缺陷会引起其激光损伤阈值的大幅降低,现阶段这一问题已成为激光装置向高功率、高能量方向发展的“瓶颈”,亟待解决。在对光学元件激光损伤的研究中发现,用低于光学元件损伤阈值的激光对元件表面进行预处理,可以有效提高光学元件的抗激光损伤能力。对激光预处理技术的提出背景、定性作用机理、定量理论模型及国内外技术应用现状进行了概述。并且介绍了一种可在薄膜制备过程中进行原位实时激光预处理的新型薄膜制备技术。最后指出,激光预处理技术作为一种无污染,可有效改善光学薄膜、光学玻璃、光学晶体元件损伤阈值的最有效方法之一,其作用机理、实用化、仪器化还有待进一步发展。
激光预处理 光学薄膜 杂质和缺陷 激光损伤阈值 laser conditioning optical films defects and impurities laser induced damage threshold 
强激光与粒子束
2023, 35(8): 081001
赵元安 1,2,3连亚飞 1,3李婷 1,3彭小聪 1,3[ ... ]邵建达 1,2,3
作者单位
摘要
1 中国科学院 上海光学精密机械研究所 薄膜光学实验室,上海 201800
2 中国科学院大学 材料与光电研究中心,北京 100049
3 中国科学院 强激光材料重点实验室,上海 201800
KDP类晶体是唯一可以满足ICF激光驱动装置通光口径的非线性光学晶体材料。该类晶体采用水溶液生长法生长,易于产生宏观包裹体和微观晶格缺陷,在高功率激光辐照下晶体内部易产生高密度pinpoint损伤现象,这与其他方法生长的晶体只是受限于光学加工的表面损伤问题相比具有明显不同。KDP类晶体内部的缺陷或前驱体诱导激光损伤与晶体切向、激光波长及偏振方向等密切相关,使得应用于ICF激光驱动器中不同光学功能的、来源于同一晶坯的不同晶体元件也表现出损伤性能的差异性,因此其损伤机理非常复杂,迫切需要认识该类晶体的激光损伤机理问题。回顾了上海光学精密机械研究所联合福建物质结构研究所、山东大学等晶体研制单位联合开展的关于KDP类晶体激光诱导损伤特性的研究工作,进行了用于光开关、倍频以及混频等功能的KDP和不同氘含量DKDP晶体的激光损伤研究,指导了晶体生长工艺优化和过程关键因素控制,并对仍存在的问题及解决方案进行了展望,对于高性能KDP类晶体的研制以及在高功率激光系统中的合理应用具有参考价值。
KDP类晶体 激光损伤 缺陷 激光损伤前驱体 热吸收 非线性吸收 激光预处理 KDP-family crystals laser induced damage defect precursor thermal absorption nonlinear absorption laser conditioning 
强激光与粒子束
2023, 35(7): 071001
李云飞 1,2史晋芳 1,2,*邱荣 2余健 1,2[ ... ]周磊 2
作者单位
摘要
1 西南科技大学 制造科学与工程学院,制造过程测试技术教育部重点实验室,四川 绵阳 621010
2 西南科技大学 极端条件物质特性联合实验室,四川 绵阳 621010
为了研究3ω预处理、3ω和1ω同时辐照预处理情况后DKDP晶体的3ω损伤特性,建立了双波长预处理和损伤测试实验系统,重点研究了双波长同时辐照预处理情况下1ω能量密度对预处理效果的影响,分析了双波长同时辐照预处理过程中的能量耦合机制。研究结果表明:双波长同时辐照预处理在提升DKDP晶体抗3ω激光损伤性能方面的效果明显好于单波长预处理;在双波长同时辐照预处理情况下,远低于自身预处理阈值的1ω参与了预处理作用过程;在相同3ω能量密度、能量阶梯的预处理策略下,1ω能量密度存在最佳值。
激光诱导损伤 DKDP晶体 激光预处理 双波长激光 能量耦合效应 laser induced damage DKDP crystal laser conditioning dual-wavelength laser energy coupling effect 
强激光与粒子束
2022, 34(6): 061003
作者单位
摘要
1 中国科学院 上海光学精密机械研究所 中国科学院强激光材料重点实验室,上海 201800
2 中国科学院大学,北京 100049
针对晶体表面的损伤特性,采用小光斑扫描激光预处理技术预辐照DKDP晶体元件,并采用表面损伤自动探测系统实时分析每个脉冲辐照后晶体表面的损伤情况,比较预处理和未预处理区域的损伤点密度确定表面预处理效果,并进一步模拟分析表面各类缺陷在纳秒强激光辐照下的动态过程,解释激光预处理对精抛表面提升作用的微观机制并分析它对粗抛表面提升不明显的原因。实验结果表明,激光预处理技术对粗抛表面的提升作用并不明显,但是可以大幅度抑制精抛表面的损伤点密度。在本文的实验条件下,晶体表面的抗激光损伤能力可以提升约60%。比较体材料和精抛表面的预处理效果发现: 当体材料的抗破坏能力通过预处理提升后,精抛表面的抗激光损伤能力也会提升,由此可见精抛表面的激光预处理效果与体材料性能相关。
激光损伤 激光预处理 损伤阈值 预处理效果 氘化磷酸二氢钾(DKDP) laser damage laser conditioning damage threshold laser conditioning effects dopted deuterium KDP (DKDP) 
光学 精密工程
2017, 25(8): 1987
作者单位
摘要
中国工程物理研究院 激光聚变研究中心, 四川 绵阳 621900
实验研究了不同激光预处理参数对于纳秒激光多脉冲作用下HfO2/SiO2反射膜损伤形态转化的影响。通过对比两类损伤扩张性和对薄膜功能性破坏机制, 提出激光预处理技术的重要意义在于抑制损伤形态转化过程。通过薄膜损伤形态分析揭示了激光预处理作用机制为节瘤缺陷的去除和亚表面吸收前驱体的形成两方面的综合作用。实验结果表明: 预处理后薄膜损伤形态转化特征曲线向更高通量和更多发次方向平移。针对现有工艺下的薄膜, 采用高通量、两台阶的预处理参数组合能够获得兼顾效率的最佳收益, 其零几率损伤形态转化阈值最高可以提升140%。
激光预处理 反射膜 损伤形态 laser conditioning reflective film damage morphology 
红外与激光工程
2017, 46(6): 0606003
作者单位
摘要
中国科学院 上海光学精密机械研究所 强激光材料重点实验室, 上海 210800
回顾了国内在激光预处理技术研究方面取得的进展。综述了基于激光预处理技术提升基频介质膜、磷酸二氢钾/高掺氘磷酸二氢钾(KDP/DKDP)晶体等光学元件抗激光损伤性能的机理、效果和关键技术。针对高功率激光驱动器中关键光学元件激光负载能力的提高, 建立了大口径光学元件激光预处理平台, 实现了基频介质膜元件的激光预处理工程化作业。比较了纳秒和亚纳秒脉冲宽度激光对DKDP晶体损伤性能的影响。基于亚纳秒激光预处理后, 纳秒激光辐照至14.4 J/cm2(5 ns)尚未出现"本征"损伤的实验结果, 提出了用于DKDP晶体的亚纳秒激光预处理方案, 并指出亚纳秒激光预处理技术将成为高功率激光三倍频晶体抗激光损伤性能达标的关键技术。
激光预处理 激光与物质相互作用 高功率激光 激光损伤阈值 介质膜 磷酸二氢钾(KDP)晶体 高掺氘磷酸二氢钾(DKDP)晶体 laser conditioning high power laser system laser induced damage threshold dielectric coating potassium dihydrogen phosphate(KDP) crystal doped deuterium KDP(DKDP) crystal 
光学 精密工程
2016, 24(12): 2938
作者单位
摘要
1 中国科学院 上海光学精密机械研究所, 上海 201800
2 成都精密光学工程研究中心, 四川 成都 610041
3 成都光明光电有限公司, 四川 成都610100
4 北京有色金属研究总院 稀有金属冶金材料研究所, 北京 100088
针对我国惯性约束聚变装置(ICF)对高性能传输反射镜元件的性能要求, 探索了大口径传输反射镜制备涉及的关键技术与工艺。深入开展了K9玻璃坯片研制、光学冷加工、传输反射镜镀膜和激光预处理等方面的研究工作。提出了400 mm口径K9反射类坯片精密退火工艺, 形成了高精度平面加工技术路线;制备了低缺陷薄膜, 并且建立了大口径光学元件预处理装置。最后, 综述了大口径高性能传输反射镜研制方面的主要成果。研制的400 mm口径传输反射镜在1 053 nm处以45°入射时, 其表面粗糙度优于99.8%, 面形PV值小于λ/3 (λ=1 053 nm), 损伤阈值大于30 J/cm2(5 ns)。基于提出的技术研制的大口径传输反射镜已成功应用于我国神光系列高功率激光装置, 有力支撑了我国大型激光装置的稳定运行。
传输反射镜 高功率激光器 K9玻璃 光学冷加工 镀膜技术 激光预处理 综述 transport mirror high-power laser K9 glass optical cold processing coating technology laser conditioning 
光学 精密工程
2016, 24(12): 2902
作者单位
摘要
1 中国科学院 上海光学精密机械研究所, 上海 201800
2 中国科学院大学, 北京 100049
采用单台阶能量光栅扫描以及R-on-1测试两种不同预处理方式研究了激光预处理技术对532 nm HfO2/SiO2高反膜的阈值提升效果。用Nd: YAG二倍频激光对电子束蒸发制备的532 nm HfO2/SiO2高反膜进行1-on-1损伤阈值测试, 然后分别进行单台阶能量光栅扫描以及R-on-1测试。通过对损伤概率以及损伤形貌的分析, 发现激光预处理能够去除薄膜内低阈值缺陷, 达到提高损伤阈值的目的, 损伤阈值分别提高38%和30%。
电子束蒸发 532 nm高反膜 激光预处理 损伤阈值 缺陷 E-beam evaporation 532 nm high reflective coatings laser conditioning laser-induced damage threshold defects 
强激光与粒子束
2015, 27(3): 032034

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