1 DTU Fotonik, Technical University of Denmark, DK-2800 Kongens Lyngby, Denmark
2 IHP, Im Technologiepark 25, 15236 Frankfurt (Oder), Germany
3 IHP Solutions GmbH, Im Technologiepark 25, 15236 Frankfurt (Oder), Germany
4 Institut für Hochfrequenz- und Halbleiter-Systemtechnologien, TU Berlin, Einsteinufer 25, 10587 Berlin, Germany
5 Currently at AMETEK CTS Europe GmbH, Lünener Straße 211 - 212, 59174 Kamen, Germany
6 e-mail: andrzej.gajda@ihp-solutions.com