梁财安 1,*董海亮 1,2贾志刚 1,2贾伟 1,2[ ... ]许并社 1,2,4
作者单位
摘要
1 太原理工大学新材料界面科学与工程教育部重点实验室, 太原 030024
2 山西浙大新材料与化工研究院, 太原 030024
3 太原理工大学材料科学与工程学院, 太原 030024
4 陕西科技大学材料原子·分子科学研究所, 西安 710021)
本文设计了GaAs基1 060 nm高性能激光二极管的有源区结构, 通过在有源区中引入锑化物的应变补偿结构GaAsP/InGaAs/GaAsSb/InGaAsSb/GaAsP, 改变了有源区的能带结构, 解决了禁带宽度对发光波长的限制, 将弱Ⅱ型的量子阱能带结构变为Ⅰ型, 增大了电子空穴的波函数重叠, 提高了激光二极管跃迁概率和辐射复合概率及内量子效率, 降低了非辐射复合, 有效增强了器件输出功率和电光转换效率。同时, 设计了非对称异质双窄波导结构, p侧采用导带差大、价带差小的AlGaAs作为内、外波导层, 有利于价带空穴注入有源区且对导带中的电子形成良好的限制。n侧采用导带差小、价带差大的GaInAsP作为内、外波导层, 有利于导带电子的注入且对价带中的空穴形成更高的势垒。电子注入势垒和空穴注入势垒分别由原先的218、172 meV降低到148、155 meV, 提高了激光二极管的载流子注入效率; 电子泄漏势垒和空穴泄漏势垒分别由252、287 meV上升到289、310 meV, 增强了载流子限制能力。最后获得的激光二极管的输出功率和电光转换效率分别达到了6.27 W和85.39%, 为制备高性能GaAs基1 060 nm激光二极管提供了理论指导和数据支撑。
锑化物 应变补偿量子阱结构 非对称异质双窄波导 输出功率 电光转换效率 1 060 nm激光二极管 大功率 antimonide strain-compensated quantum well structure asymmetric heterogenous double narrow waveguide output power electro-optical conversion efficiency 1 060 nm laser diode high power 
人工晶体学报
2023, 52(9): 1624
作者单位
摘要
中国电子科技集团公司第十一研究所, 北京 100015
锑化铟是中波红外探测应用较广的材料。抛光片的表面粗糙度是影响器件性能的关键指标。研究了锑化铟化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing, CMP)液的pH值、氧化剂比例以及抛光液流速对锑化铟抛光片表面粗糙度的影响,并结合原子力显微镜(Atomic Force Microscope, AFM)和表面轮廓仪测试对抛光片的表面粗糙度进行了表征和优化。结果表明,当pH值为8、氧化剂比例为0.75%、抛光液流速为200 L/min时,InSb晶片的表面粗糙度为1.05 nm(AFM),同时晶片的抛光宏观质量较好。
锑化铟 表面粗糙度 pH值 氧化剂比例 抛光液流速 抛光宏观质量 indium antimonide surface roughness pH value proportion of oxidant flow rate of the polishing solution polishing macro quality 
红外
2022, 43(12): 20
张宏飞 1,*朱旭波 2,3,4李墨 2,3,4姚官生 2,3,4吕衍秋 2,3,4
作者单位
摘要
1 陆装驻洛阳地区航空军代室,河南洛阳 471009
2 中国空空导弹研究院,河南洛阳 471099
3 红外探测器技术航空科技重点实验室,河南洛阳 471099
4 河南省锑化物红外探测器工程技术中心,河南洛阳 471099
面对第三代红外探测器对多波段探测的需求,中 /中波双色同时获取两个波段的目标信息,对复杂的背景进行抑制,可以有效排除干扰源的影响,提高了探测的准确性,增强了在人工及复杂背景干扰下的目标识别能力,因此中 /中波双色探测器设计和制备最近快速发展起来。锑化铟红外探测器通过分光可实现两个中波波段的探测,锑化物 Ⅱ类超晶格探测器通过能带结构设计实现多波段探测。本文阐述了锑化物中/中波双色红外探测器的主要技术路线和目前研究进展,与传统 InSb双色探测器相比,中/中波双色超晶格红外器件用于红外成像探测具有鲜明的特点和优势,但需要在探测器结构设计、锑化物超晶格材料生长、阵列器件制备等方面进行进一步研究,以提高探测性能,满足工程化应用需求。
双色 红外探测器 锑化物 Ⅱ类超晶格 中/中波 dual-color, infrared detector, antimonide, type-II 
红外技术
2022, 44(9): 904
作者单位
摘要
南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京 21009
半导体光电阴极具有量子效率高、暗电流小的优点,被广泛应用于光电倍增管、像增强器等各类真空光电探测和成像器件,促进了极弱光的超快探测和成像技术的发展。另外作为能够产生高品质电子束的真空电子源,用于加速器光注入器、电子显微镜等科学装置。本文首先介绍了目前常用半导体光电阴极的分类以及在真空光电探测成像、真空电子源领域的具体应用。然后对碱金属碲化物光电阴极、碱金属锑化物光电阴极、GaAs光电阴极三类典型半导体光电阴极的制备技术进行了总结,并介绍了微纳结构、低维材料、单晶外延等新技术在半导体光电阴极研制中的应用。最后对半导体光电阴极的技术发展进行了展望。
光电阴极 碱金属碲化物 碱金属锑化物 photocathode, alkali telluride, alkali antimonide, GaAs 
红外技术
2022, 44(8): 778
作者单位
摘要
昆明物理研究所,云南昆明 650223
采用原子层沉积技术制备 Al2O3薄膜作为 InSb材料介电层,制备了 MIS器件,研究了金属化后不同退火温度对界面特性的影响。利用 C-V测试表征了 MIS(metal-insulator-semiconductor)器件的界面特性,结果表明 Al2O3介电层引入了表面固定正电荷,200℃和 300℃退火处理可有效减小慢界面态密度,利用 Terman法得到了禁带界面态密度分布,表明 200℃退火可使禁带中央和导带附近的界面态密度显著减小。同时文章对 C-V曲线滞回的原因进行了分析,认为 Al2O3介电层中离界面较近的负体陷阱电荷是主要影响因素。实验证明了 200℃~300℃的退火处理可有效改善 InSb/Al2O3界面质量。
锑化铟 C-V特性 金属化后退火 原子层沉积 Indium Antimonide, C-V, post metalization annealin 
红外技术
2022, 44(4): 351
宁超 1,2孙瑞轩 1,2于天 1,2刘舒曼 1,2,*[ ... ]刘峰奇 1,2,3
作者单位
摘要
1 中国科学院半导体研究所 半导体材料科学重点实验室,北京 100083
2 中国科学院大学 材料与光电研究中心,北京 100049
3 北京量子信息科学研究院,北京 100193
带间级联激光器有源区内部的物理机制复杂,尚未得到充分研究。优化了电子注入区结构,通过减小InAs/AlSb啁啾超晶格中InAs量子阱的厚度促进电子向光增益区的注入,在较低的电子注入区掺杂浓度下满足了光增益区电子数和空穴数基本相等的注入平衡条件,降低了有源区中自由载流子吸收和杂质散射造成的光损耗。采用该有源区结构的带间级联激光器实现了较好的室温激射性能,腔长4 mm、脊宽20 μm且腔面未镀膜器件的阈值电流为200 mA,单腔面出光功率为55 mW。通过分析2~5 mm不同腔长器件的电压-电流-光功率性能,得到器件的波导损耗仅为3 cm-1,有源区载流子寿命为0.7 ns。
半导体激光器 中红外 分子束外延 带间级联激光器 量子阱 锑化物 Semiconductor laser Midinfrared Molecular beam epitaxy Interband cascade laser Quantum well Antimonide 
光子学报
2022, 51(2): 0251208
司俊杰 1,2,3
作者单位
摘要
1 1. 中国空空导弹研究院,河南 洛阳 471009
2 2. 红外探测器技术航空科技重点实验室,河南 洛阳 471009
3 3. 河南省锑化物红外探测器工程技术研究中心,河南 洛阳 471009
InSb单晶是制备工作于中波红外大气窗口(3~5 μm)光子型探测器的典型光电转换材料,采用该单晶材料所制备的InSb红外探测器以高性能、大规格像元阵列、高稳定性和相对低成本为特点,广泛应用于军用红外系统和高端民用红外系统领域。然而,InSb 红外探测器响应波长范围固定不可调节、响应仅限于短中波红外而对长波红外无响应、相对有限的载流子寿命制约器件高温工作性能等固有特点,限制了该型探测器在工程中的广泛应用。文中系统地介绍了基于InSb材料人们为改进上述不足所开展的新型材料及其光电响应方面的研究结果。这些材料主要包括:采用合金化方法改变InSb组分形成新型多元合金材料、采用量子结构形成新型低维探测材料。对于新型合金材料,介绍了材料的合金相图、带隙与合金组分的关系、带隙的温度关联特性,并给出采用该材料制备器件的典型光电性能;对于量子结构材料,介绍了材料的制备方法、带隙与量子尺寸的关系,以及采用该材料制备原型器件的典型光响应特性。最后,对新型InSb基红外探测材料与器件的发展趋势、关键问题、研究重点进行了探讨。
锑化铟 红外探测 红外材料 多元合金 纳米材料 indium antimonide infrared detection infrared material multicomponent alloy nanometer material 
红外与激光工程
2022, 51(1): 20210811
刘胜达 1,*房丹 1方铉 1,2赵鸿滨 3[ ... ]魏志鹏 1
作者单位
摘要
1 长春理工大学理学院 高功率半导体激光国家重点实验室, 吉林 长春 130022
2 香港中文大学(深圳) 理工学院, 广东 深圳 518172
3 北京有色金属研究总院 智能传感功能材料国家重点实验室, 北京 100088
4 哈尔滨工业大学 材料科学与工程学院, 黑龙江 哈尔滨 150001
近年来, 锑化物Ⅱ类超晶格材料在外延生长和发光性质等方面的研究取得了巨大的进步, 为获得高性能中红外波段光电子器件奠定了重要的基础。然而, 由于传统的InAs/GaSb体系超晶格材料中内部本征Ga原子缺陷的存在, 使得InAs/GaSb材料的少子寿命过短, 严重影响了光电子器件性能的提升, 因此设计并生长具有长少子寿命的新材料体系超晶格材料具有重要的研究意义。本文对现阶段锑化物Ⅱ类超晶格材料的各类材料体系进行了总结和分析, 着重强调了各类材料体系的外延生长条件、结构及光学特性等方面的研究进展, 并对锑化物Ⅱ类超晶格材料今后的发展进行了展望。
锑化物 超晶格 分子束外延 少子寿命 antimonide superlattice molecular beam epitaxy minor carrier lifetime 
发光学报
2021, 42(2): 165
李洪阳 1,2黄巍 1,2张玉婷 1,2银珊 1,2,**[ ... ]杜浩 1,2
作者单位
摘要
1 桂林电子科技大学电子工程与自动化学院,广西 桂林 541004
2 广西光电信息处理重点实验室,广西 桂林 541004
提出了由一个竖直的锑化铟(InSb)棒和两个水平的InSb棒组成的F型电磁感应透明结构。利用时域有限积分法计算了该结构的电磁特性,计算后得知,竖直InSb棒为电磁感应透明中的明模,两个水平InSb棒为暗模。本文通过改变两个水平InSb棒的距离以及竖直InSb棒与水平InSb棒的间距研究了电磁感应透明窗口的变化趋势,结果发现,电磁感应透明窗口的透射振幅出现了从开到关的状态调制。同时,由于InSb具有温度敏感特性,因此升高InSb的温度,可使电磁感应透明窗口的中心频率向高频移动,实现了对太赫兹波的主动调谐。该研究结果在光信号处理、光存储和慢光器件等方面具有潜在的应用前景。
光谱学 太赫兹 电磁感应透明 锑化铟 主动调制 
激光与光电子学进展
2021, 58(5): 0530002
谢修敏 1徐强 1陈剑 1周宏 2[ ... ]宋海智 1,3,*
作者单位
摘要
1 西南技术物理研究所, 成都 610041
2 中国兵器科学研究院,北京 100089
3 电子科技大学 基础与前沿研究院, 成都 610054
基于锑化物Ⅱ类超晶格结构的中远红外探测器, 由于其优异的性能而受到广泛的关注和研究。综述了锑化物Ⅱ类超晶格中远红外探测器的探测机理、材料结构、器件性能和当前的应用情况, 介绍了其在中远红外雪崩光电探测器领域的研究现状。锑化物Ⅱ类超晶格探测器的部分性能指标已接近、甚至超过了碲镉汞探测器, 并在部分红外装备上得到了应用。而基于锑化物Ⅱ类超晶格的雪崩光电探测器件在中远红外弱光探测领域尚处于起步阶段, 与碲镉汞探测器相比还有很大差距, 但同时也呈现出了巨大的发展潜力。
探测器, 锑化物, Ⅱ类超晶格, 中远红外, 雪崩光电探测 detectors antimonide type-Ⅱ superlattice mid- and long-infrared avalanche photodiodes 
激光技术
2020, 44(6): 688

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