1 电子科技大学电子科学技术研究院四川成都 611731
2 电子科技大学格拉斯哥学院四川成都 611731
事件句的句法结构有助于语义理解。针对中文领域的事件检测任务, 本文设计了面向句义及句法的事件检测模型(BDD)以增强对事件句的理解能力。以基于来自变压器的双向编码器表示 (BERT)的动态词向量为信息源, 设计基于依存树的长短时记忆网络模型(D-T-LSTM)以融合学习句法结构及上下文语义, 并加入基于依存向量的注意力机制强化对不同句法结构的区分度, 在中文突发事件语料库(CEC)上的实验证明了本文模型的有效性, 精确率、召回率、F1值均靠前, 且 F1值比基准模型提升了 5.4%, 召回率提升了 0.4%。
事件检测 来自变压器的双向编码器表示 基于依存树的长短时记忆网络模型 基于依存向量的注意力机制 event detection Bidirectional Encoder Representations from Transfo Dependency-Tree-LSTM(Long Short-Term Memory Networ D-Attention 太赫兹科学与电子信息学报
2023, 21(12): 1464
1 山东大学新一代半导体材料研究院, 济南 250100
2 山东大学晶体材料国家重点实验室, 济南 250100
3 专用集成电路国家级重点实验室, 石家庄 050051
4 中国电子科技集团公司第十三研究所, 石家庄 050051
随着金刚石作为散热材料在大功率半导体器件、激光器、微波器件和大规模集成电路等领域中的应用愈加广泛, 通过对金刚石局部进行精确测温以评价其散热性能是一个重要的研究课题。本文使用拉曼光谱仪对不同掺杂类型的高温高压(HTHP)样品和化学气相沉积(CVD)样品在228~678 K进行检测, 得到了金刚石样品TO模拉曼峰位、半峰全宽等与温度的一一对应关系, 并通过理论计算模型明确了热膨胀、三声子、四声子随温度变化对拉曼峰位、半峰全宽的贡献。理论和实验测试结果发现: 不同掺杂以及不同类型样品的拉曼光谱峰位无明显区别; 随温度升高, 半峰全宽宽化, 主要影响因素为声子衰减导致的非简谐效应, 同时受载流子的电离率、浓度、类型, 以及缺陷和杂质影响; 声子寿命主要受到声子的非简谐衰减作用影响, 基本不受杂质散射的影响。本研究为金刚石材料的温度检测提供了一种无损、非接触、高空间分辨率的方法。
单晶金刚石 拉曼光谱 掺杂 温度相关性 声子衰减 声子寿命 single crystal diamond Raman spectrum doping temperature dependency phonon decay phonon lifetime
1 中国科学院微电子研究所, 北京 100029
2 中国科学院大学, 北京 100049
针对先进光刻调焦调平传感器系统的增益系数工艺相关性开展理论仿真与实验研究。建立了增益系数工艺相关性理论模型,仿真分析了调焦调平传感器增益系数与测量误差随不同光刻工艺材料膜层厚度的变化规律。在自研实验系统上对表面涂覆不同厚度SiO2薄膜的硅片样品进行了实验验证,发现实验与理论仿真得到的增益系数与测量误差随膜层厚度的变化规律一致。仿真与实验研究结果表明,调焦调平传感器的工艺相关性测量误差在SiO2膜层厚度为250 nm和690 nm附近时分别出现约55.9 nm和36.6 nm的误差峰值。采用表面覆盖特定膜层的硅片来标定光刻机调焦调平传感器,可以有效减小增益系数工艺相关性的影响和测量误差。本研究结果对于光刻精密对焦控制、光刻工艺优化具有重要的参考意义。
测量 调焦调平传感器 增益系数 工艺相关性 对焦控制
1 中国科学院半导体研究所 集成光电子学国家重点实验室，北京 100083
2 中国科学院大学 材料科学与光电技术学院，北京 100049
3 中国科学院大学 电子电器与通信工程学院，北京 100049
在越来越多的光子计数应用中，用于近红外光波长领域的单光子探测器受到广泛关注。例如在量子信息处理、量子通信、3D激光测距（LiDAR）、时间分辨光谱等光子计数应用领域。文中设计并展示了用于探测1 550 nm波长光子的InGaAs/InP单光子雪崩二极管（SPAD）。这种SPAD 采用分离吸收、过渡、电荷和倍增区域结构 (SAGCM)，在盖革模下工作时具有单光子灵敏度。SPAD的特性包括随温度范围223~293 K变化的击穿电压、暗计数率、单光子检测效率和后脉冲概率。25 μm 直径的 SPAD 显示出一定的温度相关性，击穿电压随温度的变化率约为100 mV/K。当SPAD在盖革模式下温度为223 K工作时，在暗计数率为4.1 kHz，后脉冲概率为3.29%的基础上，对1 550 nm光子实现了21%的单光子探测效率。文中还分析和讨论了SPAD温度相关性的单光子探测效率、暗计数率和后脉冲概率的来源和物理机制。这些机制分析、讨论和计算可以为SPAD的设计和制备提供更多的理论支持和依据。
单光子探测器 温度相关性 光子探测效率 暗计数率 后脉冲概率 single-photon detector temperature dependency photon detection efficiency dark count rate after pulse probability 红外与激光工程
2021, 50(11): 20210453
针对系统依赖关系所导致的安全失效事故, 按照“人-环境-软件-硬件”的逻辑构造基于依赖关系的系统安全网络, 分析安全涌现失效的作用机理。建立基于依赖关系的系统安全网络框架, 并据此改进功能依赖网络分析方法。利用级联失效表征安全涌现失效过程, 提出了一套基于级联失效的飞行器系统安全涌现失效数值模拟方法, 分析系统组件、依赖关系之间的演化关系, 获取不同失效模式下的网络破坏模式。仿真结果表明：飞行器系统安全涌现失效过程需要综合考虑拓扑结构和安全效益这两个方面；安全涌现失效会对系统安全性能产生严重的影响。
飞行器系统安全 级联失效 涌现失效 失效模式 功能依赖网络分析 aircraft system safety cascading failure emergent failure failure mode functional dependency network analysis
1 四川大学物理科学与技术学院, 成都 610064
2 中英联合材料研究所, 成都 610064
表面增强拉曼散射的机理主要来源于金属表面等离子体共振所产生的电磁场增强, 因而基底的电磁特性决定了其增强的性能。本文以干涉光刻方法制作的大面积均匀性一维纳米光栅为增强基底, 从实验和理论上探究其表面增强拉曼散射的偏振依赖特性。本文使用苯硫酚作为探针分子, 并采用633 nm和785 nm两种波长作为激发光源, 开展了等离子体共振与非共振状态下金属光栅表面增强拉曼光谱的偏振依赖特性实验研究, 并通过时域有限差分法对光栅电磁特性进行分析。研究发现, 光栅表面的电场无论是否激发表面等离子体共振, 其电场随入射光偏振方向都会呈现出sin函数的规律性变化, 拉曼光谱的峰值强度则呈sin2函数的变化规律;此外, 表面等离子体共振会进一步加大拉曼光谱的偏振依赖性。
金属光栅 表面增强拉曼散射 表面等离子体 偏振依赖性 metallic grating surface-enhanced Raman scattering surface plasmons polarization dependency
中国气象局 气溶胶与云降水重点开放实验室,南京信息工程大学 大气物理学院,南京 210044
利用米散射理论数值计算分析了尺度参数为0.1～100时球形典型气溶胶粒子的散射和吸收特性对复折射率的依赖性关系。气溶胶粒子复折射率的实部和虚部是一个有机的整体, 粒子复折射率的实部和虚部可以分别影响其散射和吸收特性。若实际大气气溶胶粒子大多是成核模态和积聚模态的小粒子, 基于气溶胶的散射和吸收特性可以获得其复折射率的唯一解。但是, 如果大气中存在大量的粗模态粒子时, 气溶胶散射和吸收特性对其复折射率的依赖性较为复杂, 只有选择有限的合适复折射率库区间, 才有可能获得更合适的有效复折射率。
光散射 气溶胶 复折射率 散射和吸收特性 依赖性 light scattering aerosol refractive index scattering and absorption dependency
1 中国科学院微电子研究所， 北京 100029
2 中国科学院大学， 北京 100049
随着半导体制造步入1x nm技术节点时代，光刻机中的对焦控制精度需要达到几十纳米。在纳米精度范围内，硅片上的集成电路（IC）工艺显著影响调焦调平系统的测量精度。基于实际的调焦调平光学系统模型和三角法、叠栅条纹法测量原理，建立工艺相关性误差模型。研究表明，工艺相关性误差主要来源于测量光在光刻胶涂层内部的多次反射。选取3种光刻胶仿真分析发现，不同光刻胶的工艺相关性误差随光刻胶厚度的变化趋势相同，随测量光入射角（45°~85°）的增大而减小。在实验验证平台上分别测量7种工艺硅片，实验测量值与理论模型计算值差异统计平均值小于6 nm。结果表明，光刻机中调焦调平系统的测量光有必要采用大入射角度，同时提高光刻胶的涂胶均匀性，以减少工艺相关性误差。
测量 调焦调平 工艺相关性 纳米光刻
南京信息工程大学 江苏省气象探测与信息处理重点实验室, 江苏 南京 210044
为了实时监测图像质量, 建立了像素小波系数的二元空间依存关系模型, 并利用该模型实现了图像质量的无参考评价。首先, 将RGB图像映射到HSV空间; 对图像进行小波分解, 并建立小波系数的二元空间依存关系模型, 即以广义高斯分布来拟合小波系数的二元联合分布。然后, 分析二元空间依存关系与图像质量的相关性, 建立了无参考图像质量评价指标。最后, 对图像质量评价指标进行了测试及对比研究。基于TID2013、LIVE及CSIQ数据库完成了测试, 结果表明: 基于空间依存的无参考图像质量评价指标可以对图像的失真程度进行准确分级, 分级准确率达到96%以上; 采用基于空间依存的无参考图像质量评价方法可以实现对图像质量失真度的准确分级。
二元空间依存 无参考图像质量评价 小波分解 广义高斯分布 binary spatial dependency no-reference image quality assessment wavelet decomposition generalized Gaussian distribution 光学 精密工程
2015, 23(11): 3211
