作者单位
摘要
1 国科大杭州高等研究院 物理与光电工程学院,浙江 杭州 310024
2 中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室,上海 200083
本文对基于带间级联结构和谐振腔结构的中红外发光二极管进行了仿真和设计。在传统带间级联发光二极管的基础上,从器件外部引入分布布拉格反射镜(DBR)谐振腔结构,形成谐振腔带间级联发光二极管。对谐振腔参数进行仿真优化,包括DBR周期数、谐振腔的腔长、有源区在谐振腔中的位置等。结果表明,使用单周期ZnS/Ge DBR作为谐振腔上反射镜的器件输出功率最大,有源区置于谐振腔内部电场强度波峰处时,器件的输出功率最大,三级谐振腔带间级联LED器件的输出功率与55级无谐振腔器件输出功率相当,其光束发散角的半峰全宽可以从92度减小到52度。结合已生长的5级带间级联LED器件的测试结果,增加谐振腔结构后的仿真结果表明,峰值波长的辐射强度增强11.7倍,积分辐射强度增强5.43倍,光谱的半峰宽变窄6.45倍。
发光二极管 谐振腔 带间级联 辐射增强 light emitting diode resonant cavity interband cascade radiation enhancement 
红外与毫米波学报
2023, 42(6): 724
白雪莉 1,2柴旭良 1,3周易 1,3,*朱艺红 1[ ... ]陈建新 1,2,3,**
作者单位
摘要
1 中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室,上海 200083
2 上海科技大学 信息科学与技术学院,上海 201210
3 国科大杭州高等研究院 物理与光电工程学院,浙江 杭州 310024
带间级联红外探测器可以利用多级吸收区级联的方式实现高的工作温度,但不同的吸收区厚度设计方式会使得器件在不同级数吸收区中出现光生载流子的不匹配现象,从而对器件量子效率造成影响。为更好地理解带间级联探测器的级数和吸收区厚度对量子效率的影响,对基于InAs/GaSb II类超晶格的带间级联探测器进行了变温测试,并基于多级光电流的“平均效应”建立了工作在反向偏置电压的量子效率计算模型,通过与实际测试的量子效率对比,发现在低温条件下实验数据和计算结果拟合一致性较好,验证了多级带间级联探测器中基于内增益机制的光电流平均效应。但在高温条件下,实际的光电流低于“平均效应”的理论计算结果,这可能是由于高温下少数载流子寿命变短,在吸收区和弛豫区界面处存在光生载流子的复合机制。
InAs/GaSb II类超晶格 带间级联探测器 电子增益 量子效率 type-II InAs/GaSb superlattice interband cascade infrared photodetector electrical gain quantum efficiency 
红外与毫米波学报
2023, 42(6): 716
薛婷 1,2黄建亮 1,2,*鄢绍龙 1,2张艳华 1,2马文全 1,2,*
作者单位
摘要
1 中国科学院半导体研究所 半导体材料科学重点实验室,北京 100083
2 中国科学院大学 材料与光电研究中心,北京 100049
为了提高红外探测器的工作温度,基于InAs/GaSb II类超晶格材料设计了一种五级带间级联结构中波红外光电探测器,并采用分子束外延技术和标准化光刻及刻蚀技术进行了器件的制备。在77 K时,该器件的50%截止波长是4.02 μm,在0 V时峰值探测率为1.26×1012 cm·Hz1/2/W;在300 K零偏压下,该器件的50%截止波长是4.88 μm,峰值探测率为1.28×109 cm·Hz1/2/W,实现了高温探测。从180 K到300 K,器件的暗电流主要由扩散电流主导。在77 K到220 K温度范围的暗电流曲线中观察到了负微分电阻现象,并解释了峰谷电流比相对于温度变化的趋势。研究结果表明,具有带间级联结构的T2SL探测器可以进行室温工作,在中波范围内有比较明显的优势。
半导体探测器 中波 分子束外延 带间级联探测器 InAs/GaSb超晶格 Semiconductor photodetector Mid wavelength Molecular beam epitaxy Interband cascade photodetector InAs/GaSb superlattices 
光子学报
2023, 52(10): 1052405
刘舒曼 1,2,*张锦川 1,2叶小玲 1,2刘俊岐 1,2[ ... ]刘峰奇 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院半导体研究所 半导体材料科学重点实验室,北京 100083
2 中国科学院大学 材料与光电研究中心,北京 100049
基于锑化物的带间级联激光器同时具有带间跃迁的高增益和级联结构的高量子效率,是中红外波段重要的相干光源,其功耗低于其它中红外半导体激光器,因而单模带间级联激光器在基于激光吸收光谱技术的高分辨气体检测和化学传感等领域具有很大的优势。目前利用Bragg光栅实现波长选择的单模分布反馈带间级联激光器已经实现商品化,但是,与同样有源区结构的Fabry-Pérot腔带间级联激光器最高600 mW的出光功率相比,单模功率最高55 mW,损耗较大。对几种不同结构的分布反馈带间级联激光器的性能进行对比分析,探讨这类单模中红外激光器损耗的主要来源以及改进思路。此外,介绍了垂直腔面发射和光子晶体带间级联激光器的进展,并与分布反馈带间级联激光器的性能进行比较,讨论其优缺点及适用的场景。
中红外 单模 带间级联激光器 分布反馈 面发射激光器 Mid-infrared Single-mode Interband cascade lasers Distributed feedback Vertical emitting lasers 
光子学报
2023, 52(10): 1052403
Author Affiliations
Abstract
1 The Key Laboratory of Semiconductor Materials Science, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100083, China
2 Center of Materials Science and Optoelectronics Engineering, University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China
We report on a long wavelength interband cascade photodetector with type II InAs/GaSb superlattice absorber. The device is a three-stage interband cascade structure. At 77 K, the 50% cutoff wavelength of the detector is 8.48 μm and the peak photoresponse wavelength is 7.78 μm. The peak responsivity is 0.93 A/W and the detectivity D* is 1.12 × 1011 cm·Hz0.5/W for 7.78 μm at –0.20 V. The detector can operate up to about 260 K. At 260 K, the 50% cutoff wavelength is 11.52 μm, the peak responsivity is 0.78 A/W and the D* is 5.02 × 108 cm·Hz0.5/W for the peak wavelength of 10.39 μm at –2.75 V. The dark current of the device is dominated by the diffusion current under both a small bias voltage of –0.2 V and a large one of –2.75 V for the temperature range of 120 to 260 K.We report on a long wavelength interband cascade photodetector with type II InAs/GaSb superlattice absorber. The device is a three-stage interband cascade structure. At 77 K, the 50% cutoff wavelength of the detector is 8.48 μm and the peak photoresponse wavelength is 7.78 μm. The peak responsivity is 0.93 A/W and the detectivity D* is 1.12 × 1011 cm·Hz0.5/W for 7.78 μm at –0.20 V. The detector can operate up to about 260 K. At 260 K, the 50% cutoff wavelength is 11.52 μm, the peak responsivity is 0.78 A/W and the D* is 5.02 × 108 cm·Hz0.5/W for the peak wavelength of 10.39 μm at –2.75 V. The dark current of the device is dominated by the diffusion current under both a small bias voltage of –0.2 V and a large one of –2.75 V for the temperature range of 120 to 260 K.
interband cascade infrared photodetector type II superlattices long wavelength 
Journal of Semiconductors
2023, 44(4): 042301
宁超 1,2孙瑞轩 1,2于天 1,2刘舒曼 1,2,*[ ... ]刘峰奇 1,2,3
作者单位
摘要
1 中国科学院半导体研究所 半导体材料科学重点实验室,北京 100083
2 中国科学院大学 材料与光电研究中心,北京 100049
3 北京量子信息科学研究院,北京 100193
带间级联激光器有源区内部的物理机制复杂,尚未得到充分研究。优化了电子注入区结构,通过减小InAs/AlSb啁啾超晶格中InAs量子阱的厚度促进电子向光增益区的注入,在较低的电子注入区掺杂浓度下满足了光增益区电子数和空穴数基本相等的注入平衡条件,降低了有源区中自由载流子吸收和杂质散射造成的光损耗。采用该有源区结构的带间级联激光器实现了较好的室温激射性能,腔长4 mm、脊宽20 μm且腔面未镀膜器件的阈值电流为200 mA,单腔面出光功率为55 mW。通过分析2~5 mm不同腔长器件的电压-电流-光功率性能,得到器件的波导损耗仅为3 cm-1,有源区载流子寿命为0.7 ns。
半导体激光器 中红外 分子束外延 带间级联激光器 量子阱 锑化物 Semiconductor laser Midinfrared Molecular beam epitaxy Interband cascade laser Quantum well Antimonide 
光子学报
2022, 51(2): 0251208
柴旭良 1,2周易 1,2,*王芳芳 2徐志成 2[ ... ]陈建新 1,2,*
作者单位
摘要
1 国科大杭州高等研究院 物理与光电工程学院,浙江 杭州 310024
2 中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室,上海 200083
高温工作探测器是第三代红外焦平面发展的重要方向之一。带间级联探测器结合了势垒结构与多级吸收区结构的特点,通过多量子阱弛豫和隧穿实现光生载流子单方向输运,可以有效降低来自PN结耗尽区的产生-复合暗电流;利用多级短吸收区结构,在扩散长度很短的情况下仍然可以有效地收集光生载流子,从而可以提高探测器在高工作温度下的探测性能。本文主要介绍了作者在带间级联红外光电器件方面的研究进展,包括高工作温度带间级联探测器、高带宽带间级联探测器以及带间级联发光器件等。
带间级联探测器 高工作温度 红外焦平面 发光二极管 interband cascade photodetector high operation temperature infrared focal plane arrays light emitting diode 
红外与毫米波学报
2022, 41(1): 008
Chao Ning 1,2Tian Yu 1,2Shuman Liu 1,2,*Jinchuan Zhang 1,2[ ... ]Fengqi Liu 1,2,3
Author Affiliations
Abstract
1 Beijing Key Laboratory of Low Dimensional Semiconductor Materials and Devices, Key Laboratory of Semiconductor Materials Science, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100083, China
2 Center of Materials Science and Opto-Electronic Engineering, University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China
3 Beijing Academy of Quantum Information Sciences, Beijing 100193, China
We demonstrate GaSb-based interband cascade lasers (ICLs) emitting around 3.65 µm, which exhibit a room-temperature continuous-wave (CW) output power above 100 mW. Cavity-length analysis showed that the laser structure has a low internal loss of 3 cm-1 while maintaining a total internal quantum efficiency greater than one. After 6400 h CW operation at 25°C, the threshold current of the laser increased by 3%, and the output power decreased by 7%, indicating good reliability of the device.
interband cascade lasers quantum well mid-infrared semiconductor lasers 
Chinese Optics Letters
2022, 20(2): 022501
作者单位
摘要
1 北京化工大学 信息科学与技术学院,北京 100029
2 杭州电子科技大学 电子信息学院,浙江 杭州 310018
3 天津大学 建筑学院,天津 300072
对天然气分布监测,高精度地检测CO2同位素是非常重要的。采用可调谐二极管激光吸收光谱(TDLAS)技术,通过13CO2/12CO2在4.3 μm处的吸收谱线,实现高精度CO2同位素检测。该检测系统由工作在连续波模式下的中红外间带级联激光器(ICL)、长光程多通池(MPGC)和中红外碲镉汞(MCT)探测器组成。针对13CO212CO2两条吸收谱线强度受温度影响的问题,研制了MPGC高精度温度控制系统。实验中,配置5种不同浓度的CO2气体对检测系统进行标定,响应线性度可达0.999 6。结果表明,当积分时间为92 s时,同位素检测精度低至0.013 9‰,具备实际应用价值。
红外气体检测 CO2同位素 中红外间带级联激光器 长光程多通池 中红外碲镉汞探测器 高精度温度控制系统 infrared gas detection CO2 isotope mid-infrared interband cascade laser long-path multipass cell mid-infrared mercury cadmium telluride detector high precision temperature control system 
红外与激光工程
2021, 50(4): 20200083
谢天 1,2叶新辉 1,2夏辉 2李菊柱 2,3[ ... ]李天信 2,*
作者单位
摘要
1 上海理工大学 材料科学与工程学院,上海 200093
2 中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室,上海 200083
3 上海师范大学 数理学院,上海 200234
4 上海科技大学 物质科学与技术学院,上海 201210
室温工作将为光子型红外探测开辟更广泛的应用,系统整理和分析了从近红外到长波红外的III–V族及Ⅱ-Ⅵ族半导体探测器的室温性能,讨论不同材料体系和器件结构的室温暗电流机制。其中InAs/GaSb等二类超晶格的短周期带间级联结构以及HgCdTe抑制俄歇过程的方案在提升中长波红外室温探测性能方面都显示出了独特的优势。这些电子学结构的设计与近年来亚波长光子结构增强耦合、降低暗电流的新进展相结合,有望实现近室温工作的高灵敏红外探测。
室温红外光电探测 暗电流机制 带间级联 碲镉汞 亚波长光子结构 room temperature infrared detection dark current mechanism interband cascade HgCdTe subwavelength photon structure 
红外与毫米波学报
2020, 39(5): 583

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