中国科学院上海技术物理研究所, 红外物理国家重点实验室, 上海 200083
近年来, 量子卫星通信、主动成像等先进技术的应用取得了较大的进展, InGaAs/InP雪崩光电探测器作为信息接收端的核心器件起到了至关重要的作用。本文系统介绍了 InGaAs/InP雪崩光电探测器的工作原理, 分析了器件结构设计对暗电流特性的影响, 对盖格模式下多种单光子探测电路进行了综述, 同时对新型金属-绝缘体-金属结构设计的研究进展进行了介绍和展望。
InGaAs/InP红外雪崩光电探测器 暗电流机制 单光子探测 表面等离共振效应 InGaAs/InPinfrared avalanche photodetectors dark current mechanism single-photon detection surface plasmon resonance effect