1 沈阳建筑大学 机械工程学院,辽宁沈阳068
2 中国科学院 沈阳自动化研究所 机器人学国家重点实验室,辽宁沈阳110016
3 中国科学院 机器人与智能制造创新研究院,辽宁沈阳110169
为解决原子力显微镜(Atomic Force Microscope, AFM)系统更换探针后光路调整复杂耗时、精度不足的问题,本文首次提出通过精密控制探针与探针夹装配位置来实现更换的探针相对AFM系统原光路位置的一致,进而实现免去AFM系统换针后调整光路步骤。该系统的光路一致性组件采用光束偏转法对探针位置与偏转进行放大与监测,并使用高精度位移与角度调节平台进行探针相对于探针夹的方位调整。通过实物搭建对探针一致性效果进行了验证,并对紫外光(Ultraviolet, UV)胶水固化过程导致探针位置偏移影响;探针不同偏移量时产生的探测器噪音对AFM系统成像质量影响进行了系统分析。实验结果表明:经由该系统装配的探针平均位置精度接近1.1 µm;并且在AFM系统中更换一致性探针仅需8 s。该系统实现了高精度且质量稳定的探针一致性装配,极大地简化了AFM系统重新校准光路的操作步骤,其与自动换针装置配合可有效提升工业计量型AFM的操作与测量性能。
原子力显微镜 探针装配 光束偏转法 微米级位移调节 Atomic Force Microscopy(AFM) probe assembly beam deflection method micron-level displacement adjustment
红外与激光工程
2023, 52(10): 20230004
1 福州大学 物理与信息工程学院 平板显示技术国家地方联合工程实验室,福建 福州 350108
2 中国福建光电信息科学与技术创新实验室(闽都创新实验室),福建 福州 350108)
增强现实(AR)近眼显示光学引擎是新型显示光学设计领域的研究热点之一,它将虚拟图像投射到现实物理环境中进行显示,在空间上增强、融合和补充了物理世界。AR 近眼显示光学引擎在光学系统集成化和微型化方面有较高要求,眼镜形态的AR近眼显示光学设备是未来必然发展趋势。光学超表面是一种由亚波长单元结构在二维平面上周期排布而成的人工结构阵列,通过单元结构和电磁波的相互作用实现对光场中振幅、相位和偏振的任意调控,同时具有体积小、效率高、结构紧凑等特点,在近眼显示应用中具有很大潜力。文中在AR光学引擎设计中引入一种传输相位型超表面光波导耦出结构,该超表面单元引入了突变相位,通过对超表面的等相位面调控改变光经过波导耦出的角度,使出射光效率最高达到77%,并实现20°视场角,为AR光波导结构设计提供一种可行方案,有望为下一代人机交互显示平台提供解决方案。
近眼显示 光波导 超表面 传输相位 增强现实 光束偏转 near-eye display optical waveguide metasurface transmission phase augmented reality beam deflection 红外与激光工程
2023, 52(7): 20230342
长春理工大学 光电工程学院 光电测控与光信息传输技术教育部重点实验室,长春 130022
提出一种基于旋转双棱镜的光束复合跟踪技术,用于取代传统伺服转台实现精密的光学跟踪。首先,建立双棱镜的光束偏转模型,详细推导光束偏转矢量与双棱镜转角间的转换关系,并对跟踪过程中的棱镜旋转非线性问题进行了分析。提出基于快速反射镜进行光轴修正的双棱镜光束复合跟踪方法,通过建立偏转光轴与光学基台间的扰动耦合关系,实现了对双棱镜转速的实时补偿,并改进棱镜控制器以提高光束控制性能。搭建实验系统,对旋转双棱镜复合跟踪技术进行验证。在动态跟踪实验中,采用改进控制器的双棱镜的控制精度明显提高,相较于比例-积分-微分控制器和线性自抗扰控制器,所提出的改进控制器使棱镜的控制精度分别提高58.33%和32.81%,并使跟踪误差由改进前的49.03 μrad和38.88 μrad降低为31.15 μrad。开启视轴补偿后跟踪性能进一步提高,总跟踪误差降至7.49 μrad,跟踪精度提高4.16倍。实验结果表明,光束复合控制能有效提高双棱镜的跟踪精度,验证了所提方法的有效性。
旋转双棱镜 光束偏转 复合跟踪 光轴修正 跟踪精度 Rotating double prism Beam deflection Compound tracking Optical axis correction Tracking accuracy
红外与激光工程
2022, 51(7): 20210743
利用超表面实现对光的操控是光学领域的研究热点之一。设计了一种U型单元结构,通过将结构以斜对称的方式放置并改变结构的几何参数,实现了透射光从0到2π的相移;采用线偏振光、左旋偏振光和右旋偏振光作为入射光,通过结构优化实现了具有偏振不依赖性的光束异常折射的光束偏转器,其折射角为22.4°,并探讨了超透镜的功能,为超表面的应用提供了参考。
表面光学 超表面 光束偏转器 超透镜 偏振不依赖性 激光与光电子学进展
2022, 59(19): 1924001
电子科技大学光电科学与工程学院,四川 成都 611731
光楔是一种顶角很小的棱镜,常被用于控制光束的偏转角或补偿光线小角度的偏差。提出了一种四电极驱动的矩形孔液晶器件实现光楔的驱动方法。该液晶光楔的优势在于体积小、质量轻,可以通过电压控制其楔角大小、无需机械装置就可旋转光楔,有望被应用在需要控制光束偏转方向和角度的场合中,如光镊、激光雷达等。
光学器件 液晶器件 光楔 光束偏转 相位调制器 光学学报
2022, 42(13): 1323001
1 中国电子科技集团公司第五十四研究所,河北 石家庄 050011
2 河北省光子信息技术与应用重点实验室,河北 石家庄 050011
随着激光通信向负载能力有限应用平台的推广,激光通信系统逐渐向着轻量化和小型化的方向发展。作为激光通信系统的重要一环,扫描捕获单元的轻小型化设计成为亟待解决的问题。首先,基于旋转双光楔棱镜的扫描捕获单元摒弃常规的机械伺服转台,通过棱镜绕公共旋转轴的独立旋转实现大视场光束偏转。然后,基于非近轴光线追迹建立双光楔棱镜光束偏转模型并分析了双光楔棱镜的扫描模式,为轻小型激光通信光端机的研制提供了一定的参考。最后,基于旋转双光楔棱镜和四象限探测器复用技术提出并分析了一种轻小型激光通信光端机的设计和应用。
光学器件 激光通信 双光楔 光束偏转 光束扫描 激光与光电子学进展
2022, 59(11): 1123001
1 华中光电技术研究所-武汉光电国家研究中心, 湖北 武汉 430223
2 上海航天控制技术研究所, 上海 201109
基于衍射光栅原理, 以反射式液晶光学相控阵为研究对象, 针对波长1 550 nm波段进行光束扫描角度计算。并对周期性和非周期性的扫描模式进行了仿真分析。编制了周期性和非周期性扫描模式的相位图程序及实验软件。实现了对光波的光学相位进行实时可编程控制。通过光束偏转实验, 验证了最大偏转角度2.4°时, 最大探测距离约为1.3 km。该实验结果对制导、多目标威胁预警和反击中有着指导意义。
液晶光学相控阵 非机械式光束偏转 激光应用 相位调制 liquid crystal optical phased array non-mechanical beam steering laser application phase modulation