光学 精密工程
2022, 30(18): 2232
武汉海军工程大学 电子工程学院 光电研究所,武汉 430033
建立了激光致声的产生和测量系统,对蒸馏水、酒精和甘油中的激光致声进行测量分析,分别计算了这3种透明液体在体积模量(0.2~7.0 GPa)、动力粘性系数(0.001~30.000 Pa·s)和所吸收激光脉冲能量(10~400 mJ)变化时对应的激光致声的相关数值。实验和数值计算结果表明:激光致声的主频、峰值声压和声能随着透明液体体积模量的增加而增加;激光致声的峰值声压和声能随着动力粘性系数的增加而减小,随着击穿区所吸收的激光脉冲能量的增加而增加;动力粘性系数和击穿区所吸收的激光脉冲能量对主频的影响不明显。
激光致声 透明液体 体积模量 动力粘性系数 吸收能量 laser induced sound transparent liquid bulk modulus dynamic-viscosity coefficient absorbed laser pulse energy
1 四川大学 电子信息学院,成都 610064
2 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心,四川 绵阳 621900
利用脉宽为10 ns、波长为1064 nm的激光脉冲聚焦通过K9玻璃的方法,研究了玻璃的损伤形貌与高强度纳秒激光脉冲聚焦位置的关系。当激光脉冲聚焦在样品中心时,吸收能量随着入射能量的增加呈线性增长,玻璃的破坏范围不断扩大;当激光脉冲聚焦在样品表面时,吸收能量随着入射能量的增加呈先增长而后减小最终趋于平稳,玻璃表面的破坏范围也是先增大而后减小趋于平稳,这主要是由于空气被击穿而吸收大量能量引起的。
脉冲损伤 体内破坏 表面破坏 透射能量 吸收能量 pulse damage bulk damage surface damage transmitted energy absorbed energy
1 山东大学,控制学院,电子束研究所,济南,250061
2 山东科技大学,信息与电气工程学院,山东,青岛,266510
3 东营职业学院,山东,东营,257091
为了精确地确定电子束曝光剂量与刻蚀深度间的关系,根据抗蚀剂的灵敏度曲线,采用反差经验公式来确定剂量与刻蚀深度间的关系.选用正性抗蚀剂PMMA进行曝光实验,将计算值进行曲线拟合,得到的关系曲线与实验结果基本相符.当剂量在20～35 μC/cm2间时,实验值与计算值间的差值最小,说明当剂量在此范围内时该方法能够更加精确地确定剂量与刻蚀深度间的关系.采用该方法节省了实验时间,提高了刻蚀效率.
电子束光刻 曝光剂量 刻蚀深度 反差 吸收能量密度
1 山东大学,化学与化工学院,济南,250100
2 东营职业学院,科研处,山东,东营,257091
3 山东大学,控制学院,电子束研究所,济南,250061
提出了电子束重复增量扫描曝光技术新概念,对吸收能量密度与深度和曝光剂量之间的关系、溶解速度与吸收能量密度之间的关系进行了理论分析,发现溶解速度随曝光剂量增加而增大.以此为依据,在SDS-3型电子束曝光机上采用20 keV能量的电子束对570 nm厚的聚甲基丙烯酸甲酯进行了7次重复增量扫描曝光实验,得到了轮廓清晰的梯锥和圆锥3维结构,证明了电子束重复增量扫描曝光技术的可行性,为电子束加工3维结构提供了新工艺.
电子束曝光 吸收能量密度 剂量 溶解速度 抗蚀剂
