作者单位
摘要
南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏 南京 210094
针对在波前测试时,参考镜面自身面形误差、光能利用率不足、环境振动和空气扰动等对干涉测量结果的影响,提出一种基于偏振光栅(PG)分光的同步移相剪切干涉测量方法,通过将横向剪切干涉与同步相移技术相结合实现待测波面的准共光路相移测量。该方法采用1/4波片、PG和平面反射镜的组合作为横向剪切结构,可获得两束剪切的正交线偏振光,线偏振光经二维相位光栅、透镜、小孔光阑和相位延迟阵列构成的同步移相结构后,在CCD上可同时采集到4幅移相剪切干涉图。对xy方向的剪切干涉图采用基于相位相关的图像配准算法、四步移相算法以及基于离散余弦变换法(DCT)的相位解包裹算法进行处理,得到差分相位分布,再用基于差分Zernike多项式的最小二乘波前重构算法对其进行重构,得到待测波面。通过搭建实验装置对一块透镜和凹面反射镜进行测量,结果表明,该方法的测量结果具有准确性和稳定性,该方法能够很好地应用于波前动态测量,对透射波前和光学元件的面形检测具有重要意义。
测量 波面检测 剪切干涉 同步移相 相位复原与重构算法 
光学学报
2024, 44(3): 0312001
作者单位
摘要
1 西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,陕西 西安 710021
2 中国兵器科学研究院宁波分院,浙江 宁波 310022
本文针对共轭平移差分方法中的关键参数进行研究,提出了一种基于逆向优化策略的平移量最优解确定方法。首先对差分逼近精度及信噪比进行研究,建立噪声条件下的平移量与面形重建误差模型;然后将被测面面形估计值和随机噪声引起的面形偏差作为变量,利用差分Zernike算法求解面形重建容许误差下的最佳平移量区间;最后采用商用干涉仪对标准镜进行不同平移量下的面形绝对检测对比实验。实验结果表明:平移量的取值会直接影响面形测量精度,在最佳平移区间内进行面形绝对检测所得结果与传统三面互检方法所得结果基本吻合,证明了所提方法可以有效提高平面光学元件的面形测量精度。
测量 绝对检测 共轭平移差分 干涉测量 Zernike波面重建 
中国激光
2022, 49(18): 1804003
作者单位
摘要
天津大学 精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术教育部重点实验室,天津 300072
为了实现空间中一定距离的近似等光程光束传输,设计了一种包含离轴椭球面反射镜的波面整形系统。基于几何光学与初级像差理论,结合Zemax光学设计软件,分析了椭球面反射镜圆锥系数、离轴量对像面处光程差的影响;设计了平面-椭球面反射镜和双椭球面反射镜2种光学结构的波面整形系统,并比较了2种结构的公差。分析结果表明:平面-椭球面反射系统和双椭球面反射系统均实现了空间中1 m距离的光束传输,且2种结构系统在3 mm物高视场和孔径角为6°条件下,各视场光瞳之间的光程差分别为0.14 mm和0.04 mm,因此,双椭球面反射结构整形效果优于平面-椭球面反射系统,但双椭球面反射结构对公差的敏感度更高。
波面整形 小光程差 离轴椭球面 光学设计 wavefront shaping tiny optical path difference off-axis ellipsoidal surface optical design 
应用光学
2022, 43(3): 399
作者单位
摘要
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春130033
2 中国科学院大学, 北京 100049
提出了一种基于哈特曼原理子口径斜率扫描再重构波面的检测方式, 研究了一种解决大口径光学系统不同俯仰角下的像质评价的方法。该方法无需同等口径标准镜, 通过扫描方式获取波面信息。采用光学软件与数学分析软件通过DDE接口连接进行计算机联合仿真的方式进行探究, 仿真光学系统采用主镜Φ720 mm, 次镜Φ100 mm的卡塞-格林系统来验证该方法的可行性, 利用随机误差注入及多次扫描平均的方法进行了该检测方式中重构波面精度的研究; 系统探究了光斑中心提取误差、子口径定位误差、子口径倾斜误差对于该检测方法重构波面精度的影响。给出了该方法仿真结果与光学软件仿真结果的对比, 并获取了误差注入时各误差与重构波面精度的物理模型。
波面检测 哈特曼原理 大口径光学系统 斜率扫描 wavefront detection Hartmann principle large aperture optical system slope scanning 
红外与激光工程
2019, 48(8): 0813003
作者单位
摘要
1 武汉光迅科技股份有限公司, 湖北 武汉 430205
2 中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209
3 华中光电技术研究所-武汉光电国家实验室, 湖北 武汉 430223
红外光学系统在**、航空航天、民用等领域应用越来越广, 系统面临的外界环境复杂多变。只用光学分析软件来评估系统性能的传统方法不仅无法综合考虑不同材料间耦合影响, 也不能较为准确地描述热物理梯度场, 因此对结果的精确性分析略显不足, 而光机热集成分析是综合多物理场作用的有效方法, 涵盖了光学、机械、热学三个方向对系统性能的影响因素。通过研究Zernike多项式拟合算法, 编制了学科间的数据转换程序, 实现了分析模块间的数据传输, 并在热不敏红外系统的设计过程中采用光机热集成分析方法得到高低温工况下的光学系统传递函数, 为指导系统设计改进、提高系统性能提供了有力的理论依据。
红外系统 光机热集成分析 Zernike多项式 波面拟合 数据接口 infrared system thermal/structural/optical(TSO) integrated analysi Zernike polynomial wavefront fitting data interface 
红外与激光工程
2019, 48(6): 0618002
朱硕 1,2,*韩森 1,2唐寿鸿 1,2卢庆杰 1,2王芳 1,2
作者单位
摘要
1 上海理工大学光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
2 苏州慧利仪器有限责任公司, 江苏 苏州 215123
为了实现波面检定仪无线调节单元的限位功能, 采用限位控制系统来限制电机的位置行程, 并通过 CC2530控制板获取触发限位开关的电压信息以及精密直流电机的限位状态电压信息。实验结果表明, 波面检定仪无线调节单元的限位系统可实现对调节单元的限位控制, 并获取相应的限位信息, 还能使波面检定仪无线调节单元的调节更加准确和有效, 从而可实现对样品面形的精确测量。
波面检定仪 无线控制 限位系统 wave surface analyzer wireless control position limit system 
光学仪器
2019, 41(1): 45
作者单位
摘要
中国工程物理研究院机械制造工艺研究所, 四川 绵阳621999
针对正弦移相干涉(SinPSI)中位相调制无法精确控制的问题, 提出了一种从时域频谱提取波面信息的任意正弦调制SinPSI方法(ASM-SinPSI)。首先,根据SinPSI信号频谱的第一、三个谱峰强度关系确定调制幅度, 并采用空间随机点的方法避免了分母零值的问题, 然后从SinPSI信号的前三个谱峰中获得波面位相的正切数值与符号信息, 最后以反正切计算波面位相。数值仿真表明: 在未知调制信息情况下, ASM-SinPSI的波面位相提取误差为0.016 rad。在调制幅度为1.6、2、2.5、3 rad时的测量实验中, ASM-SinPSI均可精确提取波面位相, 与真实波面偏差的最大值为0.058 7 rad。在1.5~3.5 rad区间内的任意调制幅度下, ASM-SinPSI无需精确预知调制信息即可高精度提取波面位相, 放宽了对移相器的严苛要求。
波面测量 正弦移相干涉 位相调制 wavefront measurement sinusoidal phase-shifting interferometry phase modulation 
红外与激光工程
2019, 48(3): 0317002
赵琪 1,*石鑫 1龚薇 2胡乐佳 1[ ... ]斯科 1,2,*
作者单位
摘要
1 浙江大学光电科学与工程学院,现代光学仪器国家重点实验室, 浙江 杭州 310027
2 浙江大学医学院神经科学研究中心, 浙江 杭州 310058
针对较厚的组织,普遍采用的自适应光学技术由于其单次校正视场范围有限,空间光调制器或可变形镜的刷新率有限,难以满足大视场范围波前畸变的快速校正,进而难以满足大视场高速成像的需求。结合共轭型自适应光学系统和相干光自适应校正技术,提出了一种并行的波前畸变校正算法,该算法可以在不增加空间光调制器等刷新次数的前提下,通过并行测量多个导引星的波前畸变,实现大视场范围内像差的一次性校正,为生物组织深处的高速、高分辨成像提供一种可行的参考方案。仿真结果表明:在采用9个导引星时,针对5层随机相位屏构成的薄散射介质,该算法单次校正的有效视场约为传统算法的4.7倍;对于120 μm厚的小鼠大脑组织切片样本,单次校正的有效视场约为传统算法的4.6倍。所提算法可以通过增加导引星的数量来进一步增大一次校正的视场范围,并且不会显著增加校正时间,在活体生物样本的大视场成像中具有广阔的应用前景。
成像系统 显微成像 深穿透成像 散射测量 自适应光学 波面整形 
中国激光
2018, 45(12): 1207001
作者单位
摘要
1 中国科学院光电技术研究所, 成都 610209
2 中国科学院大学, 北京 100049
提出了基于稀疏子孔径正交多项式的拼接算法.该算法采用Mathematica9.0对圆域Zernike多项式进行Gram-Schimdt正交化, 构造出稀疏子孔径区域内的标准正交多项式——Z-sparse多项式, 并采用该正交多项式进行稀疏子孔径区域波前数据的拟合.实验表明:根据算法重构与直接检测的全孔径波前残差PV=0.071 9λ, RMS=0.007 4λ.该算法可对所提取的七个子孔径波前像差数据进行有效的拼接.
稀疏子孔径 正交多项式 Mathematica符号计算 拼接检测 波面重构 Sparse subaperture Orthogonal polynomials Mathematica symbol calculation Stiching wavefront reconstruction 
光子学报
2018, 47(6): 0612005
作者单位
摘要
1 中国科学院光电技术研究所,四川 成都 610209
2 中国科学院大学,北京 100049
稀疏子孔径拼接检测是大口径、超大口径光学系统像质检测的主要方法之一,其拼接检测的精度与子孔径排列方式、数目以及大小密切相关。本文通过建立数学模型,推导出子孔径个数k 在1 到无穷区间取值,子孔径个数k 与填充因子M的关系曲线,从而得出在1.5 m 以下系统检测的最优的七个稀疏子孔径排列布局图,并通过Φ200 mm 自准干涉检验,验证了这种排列布局的合理性。
稀疏子孔径 数学建模 拼接检测 波面重构 干涉测量 sparse subaperture mathematical modeling stitching detection wavefront reconstruction interferometry 
光电工程
2018, 45(5): 170638

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