介绍了实用化宽波段光学镀膜窗口的研制过程,研制的光学窗口实现了从可见至远红外波段使用同一光学器件工作的目标,主要波段透过率在70%以上.该产品膜层均匀性优于95%,可以抵抗潮热、温度变化等恶劣环境,可耐受高功率的红外激光辐射,通过了GJB2485-95<光学膜层通用规范>和Q/AF20087-2003<宽波段军用光学镀膜窗口规范>的标准检测.
宽波段光学窗口 类金刚石薄膜 脉冲激光淀积 均匀性 强激光与粒子束
2006, 18(10): 1629
1 中国科学技术大学结构分析开放研究实验室,安徽,合肥,230026
2 中国科学技术大学物理系,安徽,合肥,230026
本文采用脉冲激光淀积方法(PLD)制备了MgF2光学薄膜,并对其表面形貌以及光学性质进行了测试分析,X射线光电子能谱分析显示MgF2样品具有很好的化学组分配比,F/Mg原子比在1.9～2.1之间,接近于体材料;在可见光波段其光学透过率为60%～80%,在红外波段更是达到了90%以上,由KK变换计算MgF2的折射率大约为1.39,也接近于体材料的折射率1.38.
薄膜光学 脉冲激光淀积 MgF2薄膜 透过率 film optics pulsed laser depostion MgF2 film transmittance
利用两种脉宽(30ns,500fs)的KrF准分子激光展开了淀积类金刚石薄膜的实验研究,并且成功地制备了大面积不含氢成分的HF-DLC薄膜,运用时空分辨的等离子体发射光谱诊断系统和离子探针系统研究了等离子体特性对薄膜性能的影响.尝试了利用准分子激光制备非晶硅薄膜,研究了实验参数对非晶硅薄膜制备的影响,并分析了制备具有良好电学和光学性能的非晶硅薄膜的条件.
脉冲激光淀积 类金刚石薄膜 非晶硅薄膜 pulse laser deposition DLC film amorphous film
西北核技术研究所高功率准分子激光实验室, 西安 710024
利用XeCl(308 nm)脉冲准分子激光淀积技术在功率密度5×108 W/cm2、室温、真空度10-3Pa的条件下,制备出不含氢成分的类金刚石薄膜,研究了类金刚石薄膜的特性及其随制备工艺条件的变化规律。研究了激光诱导的碳等离子体发射光谱,探讨了类金刚石薄膜的形成机理。
类金刚石薄膜 XeCl激光 脉冲激光淀积
华中理工大学激光技术国家重点实验室, 武汉 430074
采用脉冲激光加辅助离子源的方法在长为6.0 cm的NiCr合金基带上制备0.13 μm厚的Y-ZrO2(YSZ)隔离层,再用脉冲激光在YSZ/NiCr带上制备1.5 μm厚的YBa2Cu3O7-x超导厚膜形成YBCO/YSZ/NiCr超导带材。实验测得在77 K,0 Tesla下其临界电流密度为8.75×104 A/cm2,超导转变温度为88.6 K。
YBCO超导厚膜 YBCO超导带材 脉冲激光淀积
南京大学固体微结构物理国家重点实验室, 南京 210093
报道了用脉冲激光淀积(PLD)方法在磷酸氧钛钾(KTP)晶体(100)面上生长沿[110]取向的铌酸钡钠(BNN)光波导薄膜。X射线衍射，扫描电子显微镜，X射线光电子能借测量表明生长的ＢＮＮ膜是外延单晶膜。膜表面粗糙度很小。光波导模式和光损耗测量表明膜具有较低的损耗。
光波导 脉冲激光淀积 铌酸钡钠 磷酸氧钛钾
