通过对TFT-LCD行业用显影液浓度(质量分数)C1和其中酸根离子浓度(质量分数)C2与半色调光刻胶膜厚(Half Tone Thickness, THK)的影响研究, 提出了改善THK波动的方法。首先, 固定光刻工艺生产条件, 采用单因素实验法分别对C1和C2对THK的影响进行试验, 研究表明, C1、C2的变化都会影响显影液的显影能力, 导致THK的变化, 且都呈线性负相关。其次, 根据C1和C2变化对THK的影响程度, 将二者之间建立公式对应关系, 通过系统对C1进行调整, 改善C2波动的影响。最终将关系公式导入系统, 稳定了显影能力, 有效改善了THK的波动, 沟道相关不良发生率从0.20%以上降低到0.03%以下。

激光拉曼光谱技术是水下原位探测酸根离子浓度的强有力工具, 建立一套适用于海洋环境、 基于拉曼光谱技术的定量分析方法对实时了解海洋化学信息具有重要意义。 本文在实验室条件下, 以SO2-4和HCO-3系列浓度水溶液及近海海域的海水为样品, 532 nm激光作为激发光源, 模拟原位探测方式采用侵入式光学探头采集拉曼光谱。 分别采用内定标法、 多元线性回归法(MLR)、 偏最小二乘法(PLS)和基于主导因素的PLS法对光谱数据进行定量分析。 研究结果表明, 采用以1 640 cm-1水分子O—H振动谱峰为内标峰的内定标法预测待测离子浓度, 预测误差均相对较大, 定标曲线线性相关系数不高; 采用多元线性回归法, 定标曲线的线性相关系数有较大提高, 在一定程度上提高了定量分析的精度; 采用酸根拉曼峰强度、 酸根峰面积、 水峰强度、 水峰面积作主导因素结合PLS法预测配置溶液中SO2-4和HCO-3浓度的定标曲线相关系数R2分别为0.990和0.916, 对待测样30 mmol·L-1的SO2-4预测相对误差为3.262%, 对20 mmol·L-1的HCO-3预测相对误差为5.267%。 以海水中SO2-4为分析对象时, 与离子色谱法预测的28.01 mmol·L-1进行对比, 以上四种定标方法的研究结果表明, 主导因素结合PLS法优于其余三种分析方法, 其均值相对误差降低为1.128%。 因此, 采用水的拉曼信号作为主导因素结合PLS法预测水溶液中的酸根离子浓度时能有效提高定量分析的精度, 并可应用于现场和原位探测中的定标。

以纳米二氧化硅(Nano-SiO2)为原料， 硅烷偶联剂(KH-550)作为交联剂首先合成了氨丙基纳米二氧化硅(Nano-APSG)， 然后加入有机功能试剂季磷盐(COOH-Ph-CH2-P(C6H5)3Br)通过有机合成反应合成有机功能试剂改性纳米二氧化硅材料(Si｜(CH2)3-NH-CO-Ph-CH2-P(C6H5)3Br)， 利用红外、 粒径、 热重分析等对结构进行了表征。 通过火焰原子吸收光谱法研究此有机功能试剂改性纳米二氧化硅材料对水中Cr2O2-7离子的吸附行为， 考察了吸附的最佳pH、 震荡时间、 吸附剂用量等因素的影响， 实验结果表明， 在pH 1， 吸附剂用量为0.1 g， 震荡时间为30 min时吸附剂对Cr2O2-7离子的吸附效率可达95%以上， 实验结果表明这种新型的功能材料可实现对废水中Cr2O2-7离子的分离与处理。