InSb晶片表面有机物沾污清洗的分子动力学研究
[1] 柏伟, 赵超, 刘铭. 锑化铟晶体材料的发展及应用 \[J\]. 人工晶体学报, 2020, 49(12): 14.
[2] 李晓霞. InSb薄膜的制备及其在光电探测器中的应用 \[D\]. 重庆: 重庆理工大学, 2020.
[3] 钱银银. 锑化铟孪晶超格子纳米线的液相控制制备、 生长机理及性质研究 \[D\]. 合肥: 中国科学技术大学, 2018.
[4] 赵建忠. InSb焦平面探测器的发展现状与趋势 \[J\]. 红外技术, 2016, 38(11): 905-913.
[5] 肖钰, 李家发, 王淑艳, 等. 锑化铟焦平面器件背面减薄后的表面处理方法研究 \[J\]. 红外, 2020, 41(6): 7-11.
[6] 张伟婷, 宁提, 李忠贺, 等. 基于可靠性试验的InSb红外探测器失效机理研究 \[J\]. 红外, 2022, 43(7): 15-20.
[7] 周静, 郝瑞亭, 潘新昌, 等. 高工作温度锑化物红外探测器研究进展 \[J\]. 激光与红外, 2022, 52(8): 1119-1127.
[8] 宋泉珍. 离子探针分析锑化铟器件表面沾污 \[J\]. 红外与激光技术, 1987, 16(4): 14-19.
[9] 徐世海, 边子夫, 高飞, 等. 清洗工艺对AlN单晶抛光片表面有机沾污的影响 \[J\]. 微纳电子技术, 2021, 58(5): 452-457.
[10] 林晓杰, 王维升, 刘汝刚. 硅片沾污检测及清洗技术研究进展 \[J\]. 微处理机, 2012, 44(3): 7-10.
[11] 关宏武, 段成龙, 冯小强, 等. 半导体化学清洗沾污来源分析 \[J\]. 科技创新与应用, 2014, 4(4): 285.
[12] 赵超, 于增辉, 程鹏. InSb晶片清洗研究 \[J\]. 红外, 2012, 33(7): 34-38.
[13] 翟树礼. 锑化铟表面腐蚀和清洗方法的俄歇评价 \[J\]. 红外与激光技术, 1983, 12(3): 39-44.
[14] Cheng L W, Cui J L, Li J, et al. High Efficient Development of Green Kinetic Hydrate Inhibitors via Combined Molecular Dynamic Simulation and Experimental Test Approach \[J\]. Green Chemical Engineering, 2022, 3(1): 34-43.
[15] Moradi H, Azizpour H, Bahmanyar H, et al. Molecular Dynamic Simulation of Carbon Dioxide, Methane, and Nitrogen Adsorption on Faujasite Zeolite \[J\]. Chinese Journal of Chemical Engineering, 2022, 43(3): 70-76.
[16] Zhang X, Wang Y, Ru X, et al. Effect of Chain Configuration on Thermal Conductivity of Polyethylene -A Molecular Dynamic Simulation Study \[J\]. Chinese Journal of Polymer Science, 2020, 38(12): 1418-1425.
[17] 王欣, 王发展, 雷哲锋, 等. 氧化锌纳米线场发射第一性原理研究 \[J\]. 人工晶体学报, 2014, 43(1): 173-179.
[18] 叶近婷. 金属离子及有机分子构型/构象调控非线性光学性质的理论研究 \[D\]. 长春: 东北师范大学, 2019.
[19] 蒲小华, 吴艳波. 三种小檗碱衍生物的结构性质及与DNA作用的理论研究 \[J\]. 化学试剂, 2021, 43(4): 441-446.
[20] 郭雷. 含杂环有机缓蚀剂缓蚀机理及新型半导体材料物性的理论研究 \[D\]. 重庆: 重庆大学, 2015.
[21] 陆原. 利用FFV预测缓蚀剂在不同体系中的协同效应 \[J\]. 表面技术, 2020, 49(11): 58-65.
[22] 张艳芳, 杜泓志, 李后英, 等. 采用分子动力学模拟技术研究聚乙烯/脲醛树脂复合材料中水分的扩散 \[J\]. 绝缘材料, 2020, 53(9): 37-41.
马腾达, 冯晓宇, 宁提, 王慧, 李浩冉, 徐港, 檀柏梅, 李兰兰. InSb晶片表面有机物沾污清洗的分子动力学研究[J]. 红外, 2023, 44(12): 0015. MA Teng-da, FENG Xiao-yu, NING Ti, WANG Hui, LI Hao-ran 1, XU Gang, TAN Bai-mei, LI Lan-lan. Molecular Dynamics Study of Organic Contamination Cleaning on InSb Surface[J]. INFRARED, 2023, 44(12): 0015.