1 重庆工业职业技术学院, 重庆 401120
2 苏州中材非金属矿工业设计研究院有限公司, 江苏 苏州 215004
3 中国电子科技集团公司 第二十六研究所, 重庆 400060
压电微机电系统(MEMS)为各种高性能滤波器、振荡器和传感器等提供了一个多功能平台。氮化铝(AlN)MEMS轮廓模谐振器(CMR)具有工作频率跨度大,品质因数高,体积小及能在单个芯片上集成多频器件且与集成电路(IC)技术兼容等优点, 具有较好的应用前景。该文对AlN MEMS CMR的原理与典型结构、制备工艺及应用进行了综合性阐述, 并分析了CMR技术未来的发展方向。
压电微机电系统 氮化铝 轮廓模式谐振器 滤波器 振荡器 射频前端模块 piezoelectric microelectromechanical system(MEMS) AlN contour mode resonator(CMR) filter oscillator RF front-end module
