1 重庆工业职业技术学院, 重庆 401120
2 苏州中材非金属矿工业设计研究院有限公司, 江苏 苏州 215004
3 中国电子科技集团公司 第二十六研究所, 重庆 400060
压电微机电系统(MEMS)为各种高性能滤波器、振荡器和传感器等提供了一个多功能平台。氮化铝(AlN)MEMS轮廓模谐振器(CMR)具有工作频率跨度大,品质因数高,体积小及能在单个芯片上集成多频器件且与集成电路(IC)技术兼容等优点, 具有较好的应用前景。该文对AlN MEMS CMR的原理与典型结构、制备工艺及应用进行了综合性阐述, 并分析了CMR技术未来的发展方向。
压电微机电系统 氮化铝 轮廓模式谐振器 滤波器 振荡器 射频前端模块 piezoelectric microelectromechanical system(MEMS) AlN contour mode resonator(CMR) filter oscillator RF front-end module
1 中国电子科技集团公司第二十六研究所, 重庆 400060
2 中国电子科技集团公司第二十四研究所, 重庆 400060
3 云南省机电一体化应用技术重点实验室 云南省先进制造技术研究中心, 云南 昆明 650031
声学滤波器是当前射频前端模块中最核心元器件之一。随着第五代(5G)移动通信技术的深入推进, 对滤波器的技术要求也不断提高。近年来, 在一些新架构、新材料和先进建模技术的加持下, 声学滤波器技术屡有突破, 已研制出多种高性能声学滤波器。该文对高性能声表面波(SAW)和声体波(BAW)滤波器技术(包括UltraSAW、LowDriftTM和NoDriftTM、I.H.P SAW、XBARTM、XBAW滤波器等)的研究情况进行了介绍与评述。最后对未来声学滤波器将面临的技术问题做了简要总结。
声学 声波 声表面波(SAW) 体声波(BAW) 滤波器 射频前端模块(RFFEM) 第五代移动通信技术(5G) acoustic acoustic wave surface acoustic wave(SAW) bulk acoustic wave(BAW) filter radio frequency front end module(RFFEM) 5th generation mobile communication technology(5G)
