研究了常规光刻工艺下单晶薄膜晶圆制备声表面波滤波器的频率分散特性。结果表明，压电单晶薄膜的表面色差是引起频率分散性恶化的根本原因，采用抗反射膜工艺抑制衬底反射以及分区曝光工艺对不同色块进行曝光补偿，均能有效地提高片内频率一致性，频率2 MHz内包含最大器件数量占比，从常规曝光的48.81%提高到抗反射膜工艺的53.57%和分区曝光工艺的70.24%。

该文研制了一款频率3, 4 GHz的S波段声表面波(SAW)滤波器。该滤波器采用一种由新型谐振器构成的阻抗元结构，能提升抗热释电静电损伤能力，用时可在一定程度上提升器件的功率承受能力。同时研制了尺寸为2, 0 mm×1, 6 mm的芯片级封装(CSP)基板。采用倒装焊工艺实现了芯片与CSP基板的电连接，降低了电磁寄生影响。结果表明，研制的SAW滤波器频率为3, 408 GHz，插损为2, 23 dB，8 GHz远端阻带大于30 dB，且实测的功率承受能力达到30 dBm。

单晶薄膜声表面波(SAW)滤波器因其低损耗, 低频率温度系数及大带宽而成为高性能SAW滤波器未来发展的方向。针对单晶薄膜衬底反射带来的换能器指条锯齿和均匀性恶化的问题, 该文采用了有机抗反射膜工艺, 通过控制抗反射膜的膜厚将衬底的相对反射率由15.84%降低至1.08%, 制作出整齐无毛刺的叉指换能器指条, 并将SAW谐振器的伯德Q（Bode-Q）值由1 400提升到1 950。

为了研究钝化层对声表面波(SAW)滤波器性能的影响, 以二氧化硅(SiO2)薄膜为钝化层, 对厚度为12~80 nm 的SiO2膜钝化层工艺数据进行分析。结果表明,当SiO2膜钝化层覆膜厚度大于25 nm时其膜层质量均匀性好,致密度高。同时SiO2膜钝化层厚度对膜层间的粘性、传播损耗、自身的质量负载及谐振峰处的频率均有影响, 且会引起过渡带宽发生变化。

声学滤波器是当前射频前端模块中最核心元器件之一。随着第五代(5G)移动通信技术的深入推进, 对滤波器的技术要求也不断提高。近年来, 在一些新架构、新材料和先进建模技术的加持下, 声学滤波器技术屡有突破, 已研制出多种高性能声学滤波器。该文对高性能声表面波(SAW)和声体波(BAW)滤波器技术(包括UltraSAW、LowDriftTM和NoDriftTM、I.H.P SAW、XBARTM、XBAW滤波器等)的研究情况进行了介绍与评述。最后对未来声学滤波器将面临的技术问题做了简要总结。

以41°Y-X切型铌酸锂作为基底材料, 选择双T型阻抗元结构, 采用晶圆级封装(WLP)技术,制作了一款相对带宽5.8%, 最小插入损耗为-2.8 dB, 体积为1.1 mm×0.9 mm×0.5 mm的小型化WLP封装声表面波滤波器。并研制了专用探卡, 对封装后晶圆完成在线测试。测试结果表明, 探卡测试结果与装配到实际电路的测试结果进行对比, 两者吻合较好, 解决了WLP封装声表面波滤波器测试难题。

声表面波器件向小型化、集成化、更高性能方向发展, 需要制作复合单晶薄膜和采用晶圆级封装。该文针对关键工艺中的晶圆键合工艺开展研究, 提出工艺要求, 简述有关键合工艺要求和设备特点, 并进行了金属键合工艺验证。实验证明, 设备和工艺能满足产品封装要求。

该文介绍了一种频率温度系数接近0的窄带温补型声表面波滤波器。该滤波器采用黑化的42°Y-X钽酸锂为衬底, 温度补偿层材料采用二氧化硅薄膜, 利用化学机械抛光二氧化硅薄膜法获得了平坦表面形貌。制作了温补型声表面波滤波器样品并进行了测试。测试结果表明, 该温补型声表面波滤波器的中心频率约1 360 MHz, 在-55~85 ℃内频率漂移仅约390 kHz, 频率温度系数约-2×10-6/℃, 插入损耗约1.3 dB。

针对目前声表面波器件用粘接剂固化时间长、小尺寸（面积小于10mm2），芯片剪切强度低的问题，测试分析了988粘片胶热稳定性、材料放气和胶成分；研究了在不同的固化工艺条件下，988胶粘片胶对声表面波器件的小尺寸芯片剪切强度和声表面波滤波器带外抑制的影响。测试和研究结果表明，采用988粘片胶能够缩短固化周期，满足国军标规定的芯片剪切强度的要求，同时能使滤波器性能得到提升。

北方农牧交错带是农业种植区与家畜放牧区相互交错的生态过渡地带, 是多种生态系统的复合体。 由于自然因素和人为因素的影响, 农牧交错带土壤沙化问题日益严重, 土壤沙化面积逐年扩大, 关系到我国北部和中东部生态环境、 经济发展和农牧区人民的生活质量等问题, 亟需解决。 近几年农牧交错带已经成为恢复生态学和全球气候变化研究的热点区域。 针对土壤沙化的遥感监测是收集沙化土地现状及其动态变化的重要技术手段, 可以为我国北方地区沙化的防治提供重要的实际数据。 Landsat ETM+是研究区域尺度较为先进的多光谱遥感系统, 应用十分广泛。 主要阐述了Landsat ETM+系统特点以及在北方农牧交错带沙化监测中的应用, 并且展望了这一系统将来的发展前景。