中国电子科技集团公司第二十六研究所, 重庆 400060
为了研究钝化层对声表面波(SAW)滤波器性能的影响, 以二氧化硅(SiO2)薄膜为钝化层, 对厚度为12~80 nm 的SiO2膜钝化层工艺数据进行分析。结果表明,当SiO2膜钝化层覆膜厚度大于25 nm时其膜层质量均匀性好,致密度高。同时SiO2膜钝化层厚度对膜层间的粘性、传播损耗、自身的质量负载及谐振峰处的频率均有影响, 且会引起过渡带宽发生变化。
表面波滤波器 钝化层 二氧化硅(SiO2)覆膜 过渡带宽 SAW filter passivation layer SiO2 film transition bandwidth
