1 重庆大学 通信工程学院，重庆 400030
2 重庆师范大学 物理与信息学院，重庆 400030
3 西南大学 物理学院，重庆 400715
为了能精确测量出晶体厚度，利用晶体的双折射特性，采用剪切干涉法来测量双折射晶体的厚度，从理论上推导出其实现的可行性，并结合实验验证了测量系统的具体实现过程及计算厚度的算法。结果表明，该方法可用来测量厚度为厘米量级的双折射晶体的厚度，测量的均方根误差小于20nm。
测量与计量 晶体厚度测量 双折射特性 干涉技术 measurement and metrology measurement of crystal thickness birefringence characteristics interferometry
1 重庆大学,重庆,400030
2 重庆师范大学,重庆,400030
正弦相位调制干涉测量技术是一种高精度光学测量技术,可用于MEMS振动、振动分布、位移等物理量的测量.本文提出一种提高悬臂粱振动参数测量精度的方法,并分析了测量原理.该方法通过反馈控制回路消除了外界干扰和光强调制对测量精度的影响,并以纳米精度对悬臂粱的振动进行了检测,可得到悬臂粱在光激励下发生振动的相关振动特性参数.
干涉测量 振动 悬臂梁 正弦相位调制 MEMS
