该文提出了5G通信载波聚合用B34&B39双接收滤波器的研制方法。首先根据产品指标，从双信道滤波器拓扑结构设计与信号端隔离两方面确定设计方案; 再通过耦合模式模型结合全波仿真对产品进行仿真优化; 最后通过有限元法/边界元法(FEM/BEM)进行器件性能验证。结果表明，产品实验与仿真结果图形吻合良好，且完全满足市场要求，证明了该文研究方法的可行性。
双接收滤波器 耦合模式模型 电磁仿真 低损耗 SAW dual filter coupling-of-mode electromagnetic simulation little loss
1 南京大学 声学研究所, 近代声学教育部重点实验室, 江苏 南京 210093
2 北京航天微电科技有限公司, 北京 100089
3 中国电子科技集团公司第二十六研究所, 重庆 400060
4 南京工业职业技术大学 航空工程学院, 江苏 南京 210023
5 苏州科技大学 电子与信息工程学院, 江苏 苏州 215009
异质声层状结构(HAL)声表面波(SAW)谐振器的品质因数(Q)和阻抗比通过优化金属电极厚度得到了进一步提高。该文采用基于格林函数/有限元(FEM)/边界元(BEM)算法的多层结构SAW器件仿真软件建立了20°YX LT/40°Y90°X石英为基底, Cu作为金属电极的单端口HAL SAW谐振器模型。首先计算了位移场分布, 分析了HAL中传播的声波模式。随后计算了LiTaO3(LT)厚度hLT=0.1λ~0.2λ(λ为波长), Cu电极厚度hCu=0.04λ~0.1λ下器件的伯德(Bode)-Q、机电耦合系数K2和阻抗比, 研究了不同LT厚度下谐振器的Bode-Q、K2和阻抗比随电极厚度的变化。结果表明, 当hLT=0.1λ~0.2λ时, 最佳Cu电极厚度均为0.05λ, 理想LT厚度下Bode-Q和阻抗比分别高达3 000和98 dB。
异质声层状结构(HAL) 声表面波(SAW) 品质因数(Q) 高阻抗比 机电耦合系数 hetero acoustic layer(HAL) SAW Q factor high impedance ratio electromechanical coupling factor
