1 北京无线电测量研究所, 北京100854
2 北京航天微电科技有限公司, 北京 100854
为了提高矩形系数, 该文针对混合结构的声表面波滤波器的设计展开研究。建立仿真模型, 采用纵向耦合结构级联单个谐振器或多个谐振器, 并在36°Y-X LiTaO3和41°Y-X LiNbO3压电材料上研制出两种声表面波滤波器。测试结果表明, 滤波器的矩形系数分别为1.7和2, 测试与仿真结果基本吻合。
矩形系数 混合结构 声表面波 纵向耦合 谐振器 rectangle factor hybrid structure SAW longitudinally coupled resonator
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在传统的抽指加权技术基础上，该文提出了一种自适应抽指加权技术。通过计算确定抽指加权的起始位置和加权数值，能对切趾换能器进行部分指条的抽指加权。研究结果表明，根据该文提出方法研制的一款声表面波滤波器，其频率为61, 60 MHz，-1 dB相对带宽为3, 7％，带外抑制大于45 dB，矩形度为1, 4，器件的综合性能得到改善。
抽指加权 自适应 切趾 加权位置 加权数值 声表面波滤波器 withdrawal weighted adaptive apodization weighted position weighted value SAW filter
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声表面波(SAW)器件光刻过程中，制作的光刻胶线条宽度与掩模版不一致，特别是不同宽度的非均匀线条光刻后线宽变化值存在偏差。该文研究了接近式曝光衍射效应对线宽的影响，分析了掩模版上线条和缝隙宽度、衍射光强、掩模版与光刻胶间距等参数间的关系。结果表明，通过建立光学模型给出了计算曝光后不同线条宽度变化值的方法，采用程序编程可对掩模版数据中不同尺寸的线条和缝隙宽度进行补偿，实现SAW器件非均匀线条宽度的精确控制。
声表面波(SAW)器件 光刻 衍射效应 线宽 surface acoustic wave(SAW) devices photolithography diffraction effect line width
基于薄膜体声波谐振器(FBAR)技术的滤波器频率温度系数为(-30~-25)×10-6/℃，其电学性能受环境温度影响较大,将降低滤波器在全温工作的性能，限制其应用环境，尤其是对滤波器通带插损与矩形系数要求高的应用场合。该文在常规FBAR滤波器中引入正温度系数的SiO2材料层，通过对滤波器的层叠位置设计及加工工艺等技术的研究，研制出S波段温补型FBAR滤波器器件，其工作频率为3, 1 GHz，插入损耗为2, 0 dB，带外抑制不小于30 dB，频率温度系数为-0, 02×10-6/℃。
薄膜体声波谐振器(FBAR) 滤波器 温补层 频率温度系数。 thin film bulk acoustic wave resonator(FBAR) filter temperature compensation layer SiO2 SiO2 temperature coefficient of frequency
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基于大机电耦合系数LiNbO3材料，该文设计了一种激发Love波模式的宽带低损耗声表面波滤波器。研究了不同切向下LiNbO3材料的机电耦合系数,以及不同切向、膜厚下15°YX-LiNbO3的瑞利波激发情况。测试结果表明，采用铜电极对谐振器进行切趾加权抑制横向模式，宽带滤波器可实现较小的插入损耗和较好的通带特性。
Love波 宽带 声表面波(SAW) 瑞利波 横向模式 LiNbO3 LiNbO3 Love wave wideband surface acoustic wave(SAW) Rayleigh wave transversal modes
该文提出了5G通信载波聚合用B34&B39双接收滤波器的研制方法。首先根据产品指标，从双信道滤波器拓扑结构设计与信号端隔离两方面确定设计方案; 再通过耦合模式模型结合全波仿真对产品进行仿真优化; 最后通过有限元法/边界元法(FEM/BEM)进行器件性能验证。结果表明，产品实验与仿真结果图形吻合良好，且完全满足市场要求，证明了该文研究方法的可行性。
双接收滤波器 耦合模式模型 电磁仿真 低损耗 SAW dual filter coupling-of-mode electromagnetic simulation little loss
西安工业大学 光电工程学院，陕西 西安 710021
针对机载双波段共口径光电瞄准系统反射式成像存在中心遮拦与装配难度大的问题，设计了一种前置光路折射式成像的共口径光学系统。应用二组元变焦理论对光学系统的初始结构进行了计算。基于最小可分辨温差（MRTD）模型分析了红外系统的作用距离，根据瑞利判据对系统前向像移进行了补偿残差分析。机载双波段共口径光电瞄准光学系统工作在0.38~0.76 μm的波段内，实现了36~180 mm的5×连续变焦，工作在3~5 μm的波段内，实现了三视场变换，三视场三档焦距之比为3，F数为4。设计结果表明，在−40~60 ℃的工作环境中，光学系统经过光学被动式无热化处理，满足系统成像质量要求。
双波段 共口径 消热差 MRTD dual band co-aperture athermalization MRTD 红外与激光工程
2021, 50(5): 20200322
1 电光控制技术重点实验室, 河南 洛阳 471000
2 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所, 河南 洛阳 471000
针对国内机载**集成效率低的问题, 结合国内外机载**集成领域的现状, 对通用**接口技术原理进行分析, 依托于悬挂物管理系统的功能, 制定了提高**集成效率的方法。研发了基于通用**接口的**控制系统, 并搭建综合演示验证平台, 验证了基于通用**接口技术的**控制系统, 能够在不更改产品软件的前提下, 实现新**集成, 提高集成效率, 对我国在机载**集成领域实现即插即用具有重要的意义。
通用**接口 **集成 悬挂物管理系统 即插即用 UAI weapon integration SMS plug-and-play
中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所，河南 洛阳 471000
为了解决载机在研发过程中因**需求的不断改变而导致悬挂物管理软件升级维护和重新开发的问题，提出了即插即用的思想。希望将插件技术应用于悬挂物管理系统(SMS)，从而在不修改或少修改主程序的前提下，提高载机对新**的综合能力。以悬挂物管理系统为基础，首先介绍了插件技术的基本原理和插件的实现方式，然后根据悬挂物管理系统的组成和功能特性，总结插件技术在其中应用所要解决的关键技术，并对**综合平台和插件的功能划分、插件的接口设计、插件的调用过程等关键技术的解决方案进行详细论述，最后搭建一个**综合演示验证平台，验证该技术的有效性。
悬挂物管理系统 插件技术 即插即用 关键技术 Stores Management System (SMS) plug-in technology plug-and-play key technology
上海大学 机械与自动化工程系, 上海 200072
基于MEMS工艺的电热致动器具有与集成电路兼容的驱动电压、大的致动位移和致动力,比静电致动器、压电致动器和磁致动器有更大的优势,是现阶段致动方式的研究热点.高精度、高可靠度、可控和稳定性好的电热致动器是未来研究的新方向.针对MEMS微加工工艺制作的固体材料电热致动器,综述了电热致动器的结构形式、典型应用、模型建立以及测试方法的研究现状和主要研究成果.对电热致动器的结构设计、建模分析和测试技术方面的关键技术和存在的主要问题进行了分析和展望,以期为基于MEMS工艺的电热致动器的设计、分析和测试提供借鉴和参考.
微机电系统 电热致动器 结构形式 建模 测量方法 MEMS electrothermal actuator structure design theoretical modeling test method
